[实用新型]一种多晶硅切片机工艺水余热回用循环系统

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种多晶硅切片机工艺水余热回用循环系统。

背景技术

目前，多晶硅切片机水工艺循环系统分工艺水系统（分夏季与冬季运行两种模式）、冷冻水系统、自来水水系统、冷却水系统、纯水供应系统。工艺水系统主要作用是给车间切片机、开方机设备运行轴承、砂浆系统降温，用循环流动的工艺水带走设备的余热。工艺水在水泵房进行增压与调控水温的工作，车间运行时工艺水进水水温参数要求控制在14±1℃度，其水温在水泵房进行调节。

多晶硅切片工艺完成后，硅片后续工序为硅片脱胶与清洗工艺。在脱胶清洗时市政自来水，因冬季自来水水温影响，造成硅片清洗过程中引起的碎片、破片等产品品质的突出异常问题。

实用新型内容

本实用新型其目的就在于提供一种多晶硅切片机工艺水余热回用循环系统，解决了冬季自来水水温低在硅片清洗过程中因水温温差大而引起的碎片、破片的产品品质的突出异常问题，具有管网结构简单、改造成本低、节能效果明显的特点，且便于安装、操作简单、工

艺方案便捷安全。

实现上述目的而采取的技术方案，包括连接切片机冷却水系统的工艺水泵，工艺水泵经阀门2一路连接冬用板式换热器另一路连接夏用板式换热器，冬用板式换热器经冷水机、冷却塔、冷却水泵、阀门3连接切片机冷却水系统，所述夏用板式换热器一路经阀门4、水池、冷冻水泵连接冷水机，夏用板式换热器另一路经阀门5连接冷水机，所述阀门2与冬用板式换热器之间和阀门3与夏用板式换热器之间设有阀门1，所述阀门4一端经阀门6连接自来水管，所述阀门5一端经阀门7连接自来水管。

有益效果

与现有技术相比本实用新型具有以下优点。

利用多晶硅切片机水工艺循环系统分工艺水余热，通过夏用板式换热器将多晶硅切片清洗工序使用的市政自来水水温提升到18℃以上。解决因冬季自来水水温影响，造成硅片清洗过程中引起的碎片、破片等产品品质，成本率下降的突出异常问题。具有管网改造结构简单、改造成本低、节能效果明显的特点，且便于安装、操作便捷特点。

附图说明

下面结合附图对本实用新型作进一步详述。

图1为本循环系统结构原理示意图。

具体实施方式

本系统包括连接切片机冷却水系统的工艺水泵，工艺水泵经阀门2一路连接冬用板式换热器另一路连接夏用板式换热器，冬用板式换热器经冷水机、冷却塔、冷却水泵、阀门3连接切片机冷却水系统，所述夏用板式换热器一路经阀门4、水池、冷冻水泵连接冷水机，夏用板式换热器另一路经阀门5连接冷水机，如图1所示，所述阀门2与冬用板式换热器之间和阀门3与夏用板式换热器之间设有阀门1，所述阀门4一端经阀门6连接自来水管，所述阀门5一端经阀门7连接自来水管。

所述自来水管上设有阀门8、温度计、压力表，所述温度计、压力表设有2套，分别布置在阀门8两端。

冬用板式换热器经通过阀门2进切片机工艺冷却水，出水供切片机冷却用水，所述夏用板式换热器一路经阀门7连接自来水管道进水侧，夏用板式换热器另一路经阀门6连接自来水管道出水侧。

实施例

如图1所示，

1、工艺水管网改造新增工艺水管与阀门1，自来水管网新增水管与阀门6、阀门7、阀门8、压力表、温度计。

2、当进入冬季时，原设计中冷冻水系统、夏用板式换热器为停用设备。自来水水温在10℃不能满足车间需求时，由操作人员先关闭冷冻水管网上阀门4，阀门5，再开启阀门7，阀门6，关闭阀门8，将自来水水切入夏用板式换热器系统。

3、当自来水在夏用板式换热器系统形成通路后，开启阀门1，关闭阀门2和阀门3，将带有多晶切片车间切片机余热的工艺水优先进入夏用板式换热器进行热交换。

4、工艺水在夏用板式换热器系统优先进行热交换后，利用余热后。如工艺水水温达不到设备进水要求时，再进入冬用板式换热器系统与原设计中的冷却水系统进行调节，最终供向车间使用。

5、完成整个温度升温调节过程。