[实用新型]一种双重真空抽气泵

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种加热炉中的双重真空抽气机，尤其适合于碳材料，石墨材料，硬质合金原材料等的碳化催化和石墨化提纯的高温处理。

背景技术

目前已经知道，用于原子重新排列组合的电加热炉炉体对于整个原子排序有着重要的影响。加热炉设计的好坏，直接影响着原子排列组合的性能指标，加热炉炉体承载着给自身和石墨管冷却的水循环、给石墨管加热的电传导、传输给石墨管保护用的惰性气体等任务。石墨管外部惰性保护气的外气和内气之间在工作工程中会有互相交流的部分，因为内外气炉不能完全隔离，已经不能满足要求。因此需要有外部辅助真空抽气机装置来解决外气和内气交叉的问题。

发明内容

针对以上问题，本发明的目的是提供一种双重真空抽气泵，是在加热炉的外部，设有双重的直联旋片泵和罗茨真空泵，并加以串接，先由直联旋片泵对炉体内的空气抽出，抽出到一定压力后，罗茨真空泵开始抽气，两个泵一起向炉体内抽气，满足加热过程中能及时排除加热炉内的某些特定化学元素的要求。

本实用新型的技术方案是通过以下方式实现的：一种双重真空抽气泵，包括罗茨真空泵和直联旋片泵，所述的直联旋片泵上设有吸气管、直联旋片泵皮带轮和皮带，罗茨真空泵上设有出气管和罗茨泵用电机，直联旋片泵和罗茨真空泵通过连接管连接，并安装在底座上；其特征在于：所述的电机连接电机皮带轮，通过皮带和直联旋片泵皮带轮、直联旋片泵和罗茨真空泵连接，电机转动，由吸气管从加热炉内吸气经过一级直联旋片泵和二级罗茨真空泵由出气管排出。

所述的出气管排出的气体分为二种方式：低压由直联旋片泵直接经过出气管排出；在炉体内的气压达到0.01MP，罗茨真空泵旋转，两个泵开始同时抽气。

本实用新型，采用直联旋片泵和罗茨真空泵串联，开始工作时直联旋片泵对炉体内的空气抽出，抽出到一定压力后，罗茨真空泵开始抽气，两个泵一起向炉体内抽气，满足较高的抽真空度要求。

附图说明

图1是本实用新型结构主视图。

图2是本实用新型俯视图。

具体实施方式

一种双重真空抽气机，由电机皮带轮1、电机2、连接管3、罗茨真空泵4、出气管5、底座6、直联旋片泵7、吸气管8、直联旋片泵皮带轮9、皮带10、罗茨泵用电机11组成。所述的吸气管8安装在直联旋片泵7上，直联旋片泵皮带轮9安装在直联旋片泵7上，直联旋片泵皮带轮9通过皮带10和电机皮带轮1电机2连接。所述的连接管3连接在直联旋片泵7和罗茨真空泵4之间，罗茨泵用电机11连接在罗茨真空泵4上，出气管5安装在罗茨真空泵4的出气口上，直联旋片泵7和罗茨真空泵4安装在底座6上。电机2转动驱动电机皮带轮1、皮带10和直联旋片泵皮带轮9旋转，直联旋片泵皮带轮9带动直联旋片泵7转动，从吸气管8内吸气。直联旋片泵7从吸气管8内吸入的空气，通过直联旋片泵7后被排入连接管3内，罗茨真空泵4再次将空气吸入，并且排入出气管5。

在刚开始吸气时直联旋片泵9单独启动，从直联旋片泵9内吸入空气，当被抽空气的炉体内的气压达到0.01MP时，罗茨真空泵4也开始旋转，两个泵开始同时抽气，使得抽气的效果更好。