[实用新型]一种多晶硅铸锭装置有效
申请号: | 201520797818.0 | 申请日: | 2015-10-15 |
公开(公告)号: | CN205099786U | 公开(公告)日: | 2016-03-23 |
发明(设计)人: | 冷金标;周慧敏;龙昭钦;任一鸣;徐志群 | 申请(专利权)人: | 晶科能源有限公司;浙江晶科能源有限公司 |
主分类号: | C30B28/06 | 分类号: | C30B28/06;C30B29/06 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 赵青朵 |
地址: | 334100 江西*** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 多晶 铸锭 装置 | ||
1.一种多晶硅铸锭装置,包括石英坩埚和设置在所述石英坩埚外周的若干块复合护板;
每块所述复合护板包括石墨层和设置在石墨层上的金属隔离层;所述金属隔离层与石英坩埚接触。
2.根据权利要求1所述的多晶硅铸锭装置,其特征在于,所述金属隔离层为钼层或钨层。
3.根据权利要求2所述的多晶硅铸锭装置,其特征在于,所述金属隔离层为钼层。
4.根据权利要求1或2所述的多晶硅铸锭装置,其特征在于,所述金属隔离层的厚度为3~10mm。
5.根据权利要求1所述的多晶硅铸锭装置,其特征在于,所述若干块复合护板之间首尾依次连接。
6.根据权利要求1所述的多晶硅铸锭装置,其特征在于,所述若干块复合护板之间通过石墨螺栓连接。
7.根据权利要求6所述的多晶硅铸锭装置,其特征在于,垂直于每块所述复合护板的厚度方向,复合护板的边缘设有若干个护板孔。
8.根据权利要求7所述的多晶硅铸锭装置,其特征在于,以石英坩埚开口方向为上,每块所述复合护板的上端沿水平方向设有三个开口。
9.根据权利要求8所述的多晶硅铸锭装置,其特征在于,所述三个开口的高度和每块所述复合护板的高度比为38~42:38~42:38~42:605~615。
10.根据权利要求8所述的多晶硅铸锭装置,其特征在于,所述三个开口的长度比为58~62:38~42:48~52。
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