[实用新型]一种机械传递臂及真空传递腔

权利要求书

1.一种机械传递臂，其特征在于：其包括第一级驱动装置、第二级驱动装置和第三级驱动装置；

所述第一级驱动装置包括：第一驱动导轨(4.1)及与其固定连接的第一机械臂(4.2)；所述第一机械臂(4.2)上设置有第一导向滚轮(4.4)；且两侧外边沿设置有第一导向槽(4.5)；

所述第二级驱动装置包括：第二机械臂(4.6)，所述第二机械臂(4.6)内侧设置有第二内导向槽(4.7)，外侧设置有第二外导向槽(4.8)；所述第一导向滚轮(4.4)与第一导向槽(4.5)沿所述第二内导向槽(4.7)移动；

所述第三级驱动装置包括：第三驱动导轨(4.10)及与其固定连接的第三机械臂(4.11)；所述第三机械臂(4.11)内侧设置有第三内导向槽(4.12)，所述第二外导向槽(4.8)、第二导向滚轮(4.9)沿所述第三内导向槽(4.12)移动；

所述第一驱动导轨(4.1)左端一侧设置有插销凹块(4.3)，所述第三机械臂(4.11)上可滑动地设置有一插销(4.15)，所述插销(4.15)的滑动方向与所述第三机械臂(4.11)的运动方向垂直；所述插销(4.15)一端为锁定端，可插入所述插销凹块(4.3)内，另一端为锁定控制端，所述锁定控制端固定有滚动装置，所述滚动装置沿一滑槽(3.14)运动；所述锁定控制端与所述第三机械臂(4.11)通过弹性部件连接。

2.如权利要求1所述的机械传递臂，其特征在于，所述第二机械臂(4.6)内部两端设置有第二导向滚轮(4.9)，所述第二导向滚轮(4.9)与所述第一机械臂(4.2)滚动连接。

3.如权利要求1所述的机械传递臂，其特征在于，其还包括第四级驱动装置，所述第四级驱动装置包括：第四机械臂(4.16)及其内侧的第四导向槽(4.17)。

4.如权利要求3所述的机械传递臂，其特征在于，所述第三机械臂(4.11)内部两端设置有第三导向滚轮(4.14)，外侧设置有第三外导向槽(4.13)；所述第三外导向槽(4.13)、第三导向滚轮(4.14)沿所述第四导向槽(4.17)滚动。

5.如权利要求4所述的机械传递臂，其特征在于，所述第四机械臂(4.16)外侧两边缘上设置有第四导向滚轮(4.18)，所述第四导向滚轮(4.18)沿所述第三外导向槽(4.13)滚动。

6.如权利要求1所述的机械传递臂，其特征在于，所述弹性部件为弹簧。

7.如权利要求6所述的机械传递臂，其特征在于，所述锁定控制端与所述第三机械臂(4.11)通过两个弹簧连接，且两个弹簧关于所述插销(4.15)的中轴线对称布置。

8.如权利要求1所述的机械传递臂，其特征在于，所述第一驱动导轨(4.1)和/或第三驱动导轨(4.10)为齿条传动装置。

9.一种真空传递腔，其特征在于，该真空传递腔内设置有权利要求1-8任一项所述的机械传递臂。

10.如权利要求9所述的真空传递腔，其特征在于，该真空传递腔还包括波纹管传动装置、磁耦合馈通装置和齿轮传动装置，所述第一驱动导轨为齿条传动装置，所述齿轮传动装置的输出齿轮与所述第一驱动导轨(4.1)上的齿条相互啮合。