[实用新型]一种多功能真空气室

权利要求书

1.一种多功能真空气室，其包括一个样品室，该样品室具有一个密闭腔室，其特征在于，该密闭腔室包括一个进气口及一个出气口，该多功能真空气室还包括一个气体充入控制器及一个气体抽出控制器，该气体充入控制器与外部气源及该进气口相连通，用于控制充入该样品室的气体样品的量；该气体抽出控制器与该出气口相连通，用于控制从该样品室中抽出的气体样品的量。

2.如权利要求1所述的多功能真空气室，其特征在于，该气体充入控制器包括第一三通接头、第一接口、第二接口、第三接口、第一阀门、第二阀门及第三阀门，该第一三通接头包括第一接头、第二接头及第三接头，该第一接口与该第一接头相连通，该第二接口与该第二接头相连通，该第三接口与该第三接头相连通；该第一阀门位于该第一接口与该第一接头之间的气流通道上，该第二阀门位于该第二接口与该第二接头之间的气流通道上，该第三阀门位于该第三接口与该第三接头之间的气流通道上；该第一接口与该进气口相连通；该第二接口与一个第一外部气源相连通；该第三接口与一个第二外部气源相连通。

3.如权利要求2所述的多功能真空气室，其特征在于，该第一接口与该第一接头之间、该第二接口与该第二接头之间、该第三接口与该第三接头之间均通过金属洁净管连接，该第一接口与该进气口之间通过软管连接。

4.如权利要求1所述的多功能真空气室，其特征在于，该气体抽出控制器包括第二三通接头、第四接口、第五接口、第六接口、第四阀门、第五阀门、气压计及真空泵，该第二三通接头包括第四接头、第五接头及第六接头，该第四接口与该第四接头相连通，该第五接口与该第五接头相连通，该第六接口与该第六接头相连通；该第四阀门位于该第四接口与该第四接头之间的气流通道上，该第五阀门位于该第五接口与该第五接头之间的气流通道上；该第四接口与该出气口相连通；该气压计与该第五接口相连通；该真空泵与该第六接口相连通。

5.如权利要求4所述的多功能真空气室，其特征在于，该第四接口与该第四接头之间、该第五接口与该第五接头之间均通过金属洁净管连接；该第四接口与该出气口之间、该气压计与该第五接口之间、该真空泵与该第六接口之间均通过软管连接。

6.如权利要求1所述的多功能真空气室，其特征在于，该样品室包括一个本体及一个活动顶盖，该本体具有一个开口，该本体靠近该开口的部分形成有一个接合部且该接合部的底部具有一个圆环状的台阶；该活动顶盖固定在该接合部，且压设在该台阶上，使得该活动顶盖与该本体共同形成该密闭腔室。

7.如权利要求6所述的多功能真空气室，其特征在于，该样品室还包括一个一个电阻丝、一个导线接头、一个温度控制器及一个温度传感器探头，该电阻丝设置在该本体的底部；该温度控制器通过该导线接头与该电阻丝电连接，用于对该密闭腔室进行加热，以控制该密闭腔室内的温度；该温度传感器探头与该温度控制器进行电连接；该活动顶盖上开设有一个通孔；该温度传感器探头插设在该通孔内，且伸入该密闭腔室内，用于感测该密闭腔室内的温度。

8.如权利要求7所述的多功能真空气室，其特征在于，该活动顶盖与该台阶之间设置有第一密封圈，该温度传感器探头与该通孔之间设置有第二密封圈。

9.如权利要求6所述的多功能真空气室，其特征在于，该样品室还包括一个玻璃窗口，该玻璃窗口设置在该活动顶盖上，用于让光束照射在该样品室内的样品上。

10.如权利要求9所述的多功能真空气室，其特征在于，该样品室还包括一个载台，该载台设置在该本体内且与该玻璃窗口对应设置，用于承载固体样品。