[实用新型]一种提高区熔硅单晶轴向与径向电阻率均匀性的反射环

权利要求书

1.一种提高区熔硅单晶轴向与径向电阻率均匀性的反射环，其特征在于：包括保温筒(1)、冷却水管道(2)和掺杂管道(3)，所述保温筒(1)为一圆柱形筒体，所述筒体的外壁上套设有环形的冷却水管道(2)，所述冷却水管道(2)位于所述筒体上部，所述冷却水管道(2)上设置有进水口(21)和出水口(22)，所述筒体外壁上紧挨冷却水管道(2)下端处，套设有环形的掺杂管道(3)，所述掺杂管道(3)上设有若干个管道进气口(31)，所述筒体的筒壁上设有若干个与所述掺杂管道(3)相连通的筒体进气口(11)。

2.根据权利要求1所述的提高区熔硅单晶轴向与径向电阻率均匀性的反射环，其特征在于：所述冷却水管道(2)和掺杂管道(3)均以焊接的方式固定在所述筒体的外壁上。

3.根据权利要求1所述的提高区熔硅单晶轴向与径向电阻率均匀性的反射环，其特征在于：所述冷却水管道(2)可为圆管或方管，所述掺杂管道(3)可为圆管或方管。

4.根据权利要求1所述的提高区熔硅单晶轴向与径向电阻率均匀性的反射环，其特征在于：所述冷却水管道(2)和掺杂管道(3)的材质为铜。

5.根据权利要求1所述的提高区熔硅单晶轴向与径向电阻率均匀性的反射环，其特征在于：所述保温筒(1)的材质为铜或银。

6.根据权利要求1所述的提高区熔硅单晶轴向与径向电阻率均匀性的反射环，其特征在于：所述管道进气口(31)的个数为2个。

7.根据权利要求1所述的提高区熔硅单晶轴向与径向电阻率均匀性的反射环，其特征在于：所述筒体进气口(11)的个数为2-6个。