[实用新型]一种面板处理装置

权利要求书

1.一种面板处理装置，其特征在于，其至少包括：

一第一支撑机构，其至少具有第一机械臂以及第一吸附单元，所述第一吸 附单元连接于所述第一机械臂一端，所述第一吸附单元吸附第一基板，所述第 一机械臂驱动所述第一吸附单元以及所述第一基板移动；

一第二支撑机构，其至少具有第二机械臂以及第二吸附单元，所述第二吸 附单元连接于所述第二机械臂一端；

所述第一支撑机构与所述第二支撑机构相对设置，所述第一支撑机构相对 所述第二支撑机构靠近或远离；

一第二基板，其至少具有相背的第三表面以及第四表面，所述第三表面贴 合双面胶，所述第四表面与所述第二吸附单元吸附相接；

一第三支撑机构，其至少具有第三机械臂以及第三吸附单元，所述第三支 撑机构用于移动并翻转所述第一基板。

2.如权利要求1所述的面板处理装置，其特征在于，所述双面胶贴合所 述第二基板的粘着力大于所述双面胶贴合所述第一基板的粘着力。

3.如权利要求2所述的面板处理装置，其特征在于，所述第三支撑机构 还包括一滑轨，所述滑轨相邻设置于所述第一支撑机构以及所述第二支撑机构 至少一侧；

所述滑轨与所述第三机械臂固定连接并驱动所述第三机械臂在垂直于第 一基板的方向往复运动。

4.如权利要求3所述的面板处理装置，其特征在于，所述第三机械臂至 少包括一第一连接杆、一第二连接杆以及一第一球面副，所述第一连接杆、所 述第二连接杆与所述第一球面副铰接；

所述第二连接杆朝向所述第一基板弯折，所述第二连接杆远离所述第一球 面副的一端与所述第三吸附单元连接。

5.如权利要求4所述的面板处理装置，其特征在于，所述第三机械臂还包 括一驱动机构，所述驱动机构驱动所述第三机械臂完成操作。

6.如权利要求5所述的面板处理装置，其特征在于，所述驱动机构驱动 所述滑轨调节所述第三机械臂相对所述第一基板的位置，并驱动所述第二连接 杆推动所述第三吸附单元吸附所述第一基板的一端，所述第一球面副连动所述 第二连接杆翻转所述第三吸附单元及所述第一基板。

7.如权利要求6所述的面板处理装置，其特征在于，所述第一球面副可 在至少一个平面内转动，所述第一球面副至少在垂直于所述第一基板以及所述 第二基板的第一平面转动，所述第一球面副在所述第一平面内转动围绕的第一 转动轴垂直于所述滑轨所在平面。

8.如权利要求6所述的面板处理装置，其特征在于，所述第一球面副可 在至少两个平面内转动；

所述第一球面副在垂直于所述第一基板以及所述第二基板的第一平面转 动，所述第一球面副在所述第一平面内转动围绕的第一转动轴垂直于所述滑轨 所在平面；

所述第一球面副并在垂直于所述第一基板以及所述第二基板的第二平面 转动，所述第一球面副在所述第二平面内转动围绕的第二转动轴平行于所述滑 轨所在平面。

9.如权利要求1至8任一项所述的面板处理装置，其特征在于，所述处 理装置包括一真空室，所述真空室密封设置于所述第一吸附单元以及所述第二 吸附单元外侧并套接所述第一机械臂以及所述第二机械臂。

10.如权利要求9所述的面板处理装置，其特征在于，所述第三吸附单元 吸附所述第一基板靠近所述第三机械臂的一端。