[实用新型]一种多线切割机硅片分切模具有效
| 申请号： | 201520813369.4 | 申请日： | 2015-10-19 |
| 公开（公告）号： | CN205112120U | 公开（公告）日： | 2016-03-30 |
| 发明（设计）人： | 郭红慧;王彦君;陈桐;王帅;王少刚;李海龙;赵勇;魏延鹏;雷海云;孙红永 | 申请（专利权）人： | 天津市环欧半导体材料技术有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/04 | 分类号： | B28D5/04;B28D5/00 |
| 代理公司： | 天津滨海科纬知识产权代理有限公司 12211 | 代理人： | 李纳 |
| 地址： | 300384 天津市滨海新区*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 切割机 硅片 模具 | ||
【权利要求书】：
1.一种多线切割机硅片分切模具，其特征在于：所述硅片分切模具包括两块平行侧板和设置于两侧板之间的两块平行连接板，所述侧板与所述平行连接板围成一上下开放的长方体结构，所述侧板的内侧均匀分布有若干凹槽，且两块平行侧板上的凹槽一一对应，所述凹槽的宽度与待切割硅片宽度一致，用于固定所述待切割硅片。
2.根据权利要求1所述的多线切割机硅片分切模具，其特征在于：所述连接板的横截面为“H”形结构。
3.根据权利要求1所述的多线切割机硅片分切模具，其特征在于：所述模具的高度h＝硅片直径+(2-3)mm。
4.根据权利要求1-3任一项所述的多线切割机硅片分切模具，其特征在于：所述模具内凹槽间隙宽度L＝硅片厚度+(1-2)mm。
5.根据权利要求1所述的多线切割机硅片分切模具，其特征在于：所述侧板与所述连接板均为绝缘板。
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