[实用新型]一种大培养皿常压低温等离子体处理装置

权利要求书

1.一种大培养皿常压低温等离子体处理装置，包括柜体，其特征在于：还包括设置于柜体内部的低温等离子电源、电路配电柜、步进电机、低温等离子体上电极和下电极、设置触摸屏、低温等离子体电极基台和冷却风扇，还包括设置于柜体后部的集风金属罩，所述集风金属罩内设置有金属管、排气管和风机，其中，

所述下电极基台由配置的金属基模和铝制齿块构成，所述金属基模与大培养皿的形状相适应，所述铝制齿块与金属基模固定连接，所述冷却风扇设置于金属基模的下方；

所述低温等离子体上电极与步进电机相连接；

所述设置触摸屏分别与低温等离子电源、步进电机、冷却风扇相连接，进行人机交互控制；

所述低温等离子体电源通过低温等离子体上电极和下电极，使其中间区域产生低温等离子体放电区；

所述集风金属罩内，风机向柜体外部抽风，排出柜体内反应产生的臭氧并进一步通过金属管和排气管对上、下电极进行外部冷却。

2.如权利要求1所述的一种大培养皿常压低温等离子体处理装置，其特征在于：所述低温等离子电源为差分激励电源。

3.如权利要求1所述的一种大培养皿常压低温等离子体处理装置，其特征在于：所述低温等离子体上、下电极为一对平行平板式电极。

4.如权利要求3所述的一种大培养皿常压低温等离子体处理装置，其特征在于：所述低温等离子体上、下电极为金属板或金属网，且电极表面覆盖陶瓷介质或者石英介质。