[实用新型]用于制造高纯料底部石英坩埚的成型棒结构有效

专利信息
申请号: 201520817523.5 申请日: 2015-10-20
公开(公告)号: CN205024351U 公开(公告)日: 2016-02-10
发明(设计)人: 祝立君;韩东;赵亮;杜兴林 申请(专利权)人: 内蒙古欧晶石英有限公司
主分类号: C30B15/10 分类号: C30B15/10;C30B29/06
代理公司: 锦州辽西专利事务所 21225 代理人: 赵月娜
地址: 010070 内蒙古自*** 国省代码: 内蒙古;15
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摘要:
搜索关键词: 用于 制造 高纯 底部 石英 坩埚 成型 结构
【权利要求书】:

1.一种用于制造高纯料底部石英坩埚的成型棒结构,其特征在于:所述成型棒的外轮廓由从上至下依次相接的直壁段、接近于成型坩埚底部的外轮廓并与其平行的外凸段、接近于成型坩埚底部的内轮廓并与其平行的内凹段组成,所述直壁段与成型坩埚直壁段的内轮廓之间留有间距,所述内凹段一直延伸至坩埚对称轴,所述外凸段和直壁段之间利用圆弧过渡。

2.根据权利要求1所述的用于制造高纯料底部石英坩埚的成型棒结构,其特征在于:所述成型棒的直壁段到坩埚对称轴之间的距离为R2,R2=D/2-2*d-0.1*D,其中D为成型坩埚外径,d为成型坩埚厚度,所述内凹段的起始端到坩埚对称轴之间的距离为R1,R1为R2的50%-60%。

3.根据权利要求1所述的用于制造高纯料底部石英坩埚的成型棒结构,其特征在于:所述内凹段与成型坩埚底部的内轮廓的距离为d1,d1=2mm-4mm。

4.根据权利要求1所述的用于制造高纯料底部石英坩埚的成型棒结构,其特征在于:所述外凸段与成型坩埚底部的外轮廓的距离为d2,d2=3mm-5mm。

5.根据权利要求1所述的用于制造高纯料底部石英坩埚的成型棒结构,其特征在于:所述外凸段和直壁段之间的圆弧半径r=10mm-30mm。

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