[实用新型]一种半导体等离子体处理装置的上盖板开启装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种开启装置，尤其是一种半导体等离子体处理装置的上盖板开启结构，属于半导体设备技术领域。

背景技术

现有等离子体处理装置，大多是通过一简单的结构组件来实现上盖板的成功开启。通常是通过简单的连接销来实现开关上盖板，下端采用螺栓实现其与腔体间的连接。通过该结构，实现上盖板开关操作及其固定。

在上述工艺过程中，在开关上盖板时，上盖板会松动不固定，同时该连接组件与腔体间也存在松动，而这些都会造成上盖板与密封圈、衬垫和腔体间产生摩擦，使得腔体上表面不平整，最终导致腔体的密封性不好，需要外力协助才能实现抽真空的操作。综上所述，不论从设备维护本身还是操作方面，该结构都亟需改进。

目前，随着半导体技术的不断发展，等离子体处理装置需求不断加大，传统的上盖板开启结构组件导致腔体损害及密封性变差的问题会越发显著。因此，需要设计一种新型的上盖板开启结构，准确定位上盖板，以避免上盖板与密封圈、衬垫和腔体之间的摩擦，避免设备的损伤，改善腔体密封性能，以适应技术不断提高的需要。

实用新型内容

本实用新型是鉴于改善等离子体处理设备上盖板开启方式，其目的是提供一种可以实现避免磨损腔体的简便开启上盖板的结构。

为实现上述目的，本实用新型采用的技术方案是：一种半导体等离子体处理装置的上盖板开启装置，包括上铰链和下铰链，两者通过定位连接销连接。上铰链与上盖板固定连接，下铰链与腔体的外壁固定连接。上铰链上设有上定位孔，其下端的平面为上盖板接触面；下铰链的上端设有下定位孔，其侧面的平面为腔体接触面，在腔体接触面上设有固定销轴。

优选的，所述的固定销轴为四个。

优选的，所述的下铰链上还设有定位销。

本实用新型准确定位上盖板和腔体外壁，以避免上盖板与密封圈、衬垫和腔体之间的摩擦，避免设备的损伤，改善腔体密封性能。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清晰、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

如图1所示：一种半导体等离子体处理装置的上盖板开启装置，包括上铰链1和下铰链2，两者通过定位连接销3连接。上铰链1与上盖板固定连接，下铰链2与腔体的外壁固定连接。上铰链1上设有上定位孔8，其下端的平面为上盖板接触面4；下铰链2的上端设有下定位孔7，其侧面的平面为腔体接触面6，在腔体接触面6上设有四个固定销轴5。固定销轴5与腔体的外壁固定定位，来实现下铰链2与腔体外表面充分接触，上铰链1通过螺钉固定在上盖板上并充分接触，避免松动而引起上盖板与腔体间的摩擦。

当上盖板需要开启时，上铰链1随着上盖板的开启沿着定位连接销3做逆时针转动，当上定位孔8与下定位孔7重合时，用定位销9插入到上定位孔8和下定位孔7内，实现定位，避免了上盖板与腔体间松动，通过该结构可以简便打开上盖板，同时也不会对腔体造成磨损。