[实用新型]一种面内检测的高Q值隧道磁阻效应的微机械陀螺

权利要求书

1.一种面内检测的高Q值隧道磁阻效应的微机械陀螺，其特征在于，所述微机械陀螺包括嵌放有永磁体的基板及置于基板上侧的陀螺敏感机构；

所述陀螺敏感机构包括一降低驱动方向及检测方向信号耦合影响的分体式质量块结构；所述分体式质量块结构包括一内质量块及一外质量块，所述内质量块与外质量块通过检测梁连接。

2.根据权利要求1所述的一种面内检测的高Q值隧道磁阻效应的微机械陀螺，其特征在于，所述陀螺敏感机构还包括支撑框体、驱动梁及隧道磁阻器件。

3.根据权利要求2所述的一种面内检测的高Q值隧道磁阻效应的微机械陀螺，其特征在于，所述外质量块设置在所述支撑框体内侧，所述内质量块设置在外质量块内侧，所述隧道磁阻器件设置在内质量块中心处；

所述外质量块通过驱动梁与所述支撑框体连接。

4.根据权利要求3所述的一种面内检测的高Q值隧道磁阻效应的微机械陀螺，其特征在于，所述支撑框体整体呈方形，所述驱动梁垂直于所述方形一侧边，所述检测梁垂直所述驱动梁。

5.根据权利要求4所述的一种面内检测的高Q值隧道磁阻效应的微机械陀螺，其特征在于，所述陀螺敏感机构上以内质量块中心点处垂直驱动梁的方向为X轴，以内质量块中心点处垂直X轴的方向为Y轴，由X轴向中心线与Y轴向中心线将陀螺敏感机构划分得到的四象限区域，在所述四象限区域内所述内质量块分别开设有用于设置检测梁的检测梁置梁槽，且所述检测梁置梁槽以相邻象限间的分界线对称设置；在所述四象限区域内所述外质量块分别开设有用于设置驱动梁的驱动梁置梁槽，且所述驱动梁置梁槽以相邻象限间的分界线对称设置。

6.根据权利要求5所述的一种面内检测的高Q值隧道磁阻效应的微机械陀螺，其特征在于，所述隧道磁阻器件连接一信号引出线，所述外质量块上设置有反馈导线及驱动导线，所述支撑框体上设置有引线焊盘，所述反馈导线与驱动导线均经沿驱动梁设置的连接导线与引线焊盘连接。

7.根据权利要求5所述的一种面内检测的高Q值隧道磁阻效应的微机械陀螺，其特征在于，所述基板中心区域嵌放有检测磁体，在所述检测磁体两侧嵌设有两个驱动磁体，所述检测磁体与隧道磁阻器件位置对应，所述驱动磁体与驱动置梁槽位置对应，所述基板上侧设置有一垫衬框体，所述陀螺敏感机构设置在所述垫衬框体上侧，所述垫衬框体与所述基板组合设置构成一凹槽，所述检测磁体及驱动磁体均置于所述凹槽内。