[实用新型]交互式双阴极离子表面热处理炉

权利要求书

1.一种交互式双阴极离子表面热处理炉，包括炉体、炉底盘、真空系统、供气系统、温度测控系统和脉冲电源，其特征在于炉体为三层结构，炉体外层与中间层之间为冷却水夹层，中间层与内层之间为真空绝热和气体冷却夹层，炉体内设置多孔壁面铁质圆筒，圆筒内为摆放工件的阴极盘，炉体为阳极并接地，多孔壁面铁质圆筒与阴极盘构成双阴极，分别为阴极1和阴极2，炉体、多孔壁面铁质圆筒和阴极盘三者间为顺电场关系。

2.根据权利要求1所述的一种交互式双阴极离子表面热处理炉，其特征在于多孔壁面铁质圆筒由筒体罩和筒底板组成，两者为分体结构，筒体罩与炉体连接，筒底板放置在炉底盘和阴极盘之间，并相互绝缘。

3.根据权利要求2所述的一种交互式双阴极离子表面热处理炉，其特征在于，所述的多孔壁面铁质圆筒的筒体罩和筒底板的厚度为4～20mm，其上开设直径10～14mm圆形通孔，孔间距为30～40mm。

4.根据权利要求1所述的一种交互式双阴极离子表面热处理炉，其特征在于中间层与内层之间的真空绝热和气体冷却夹层为空腔，处于真空状态时为真空绝热夹层，通入流动压缩空气时则为气体冷却夹层。

5.根据权利要求1所述的一种交互式双阴极离子表面热处理炉，其特征在于多孔壁面铁质圆筒阴极1的电位不低于阴极盘阴极2的电位，其电压值由脉冲电源控制，可同步或异步输出，阴极1和阴极2的电压值和占空比可分别调节。