[实用新型]一种蒸着装置及蒸着装置组有效
| 申请号： | 201520832871.X | 申请日： | 2015-10-26 |
| 公开（公告）号： | CN205170963U | 公开（公告）日： | 2016-04-20 |
| 发明（设计）人： | 解博 | 申请（专利权）人： | 上海天马有机发光显示技术有限公司;天马微电子股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 深圳中一专利商标事务所 44237 | 代理人： | 张全文 |
| 地址： | 200120 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 着装 | ||
1.一种蒸着装置，用于加热材料并使材料变成气体状态，包括盛放装置， 其特征在于，还包括设置于盛放装置外部的加热装置，所述加热装置包括：
将所述盛放装置容纳于内并可拆分为两半的壳罩；
以及固定设置于所述壳罩下部并与壳罩之间形成密闭腔的超导液槽，所述 超导液槽用于盛放超导液，所述壳罩的内部贴附于所述盛放装置的外部。
2.如权利要求1所述的一种蒸着装置，其特征在于，所述密闭腔包裹所述 盛放装置。
3.如权利要求1所述的一种蒸着装置，其特征在于，所述盛放装置包括坩 埚、设置于所述坩埚上部的防沸板和至少一设置于所述防沸板上部的喷嘴，两 半所述壳罩合并后内部形成至少一用于容纳所述喷嘴的喷嘴置放孔，所述密闭 腔靠近喷嘴一侧的腔体上部与所述喷嘴上部平齐。
4.如权利要求3所述的一种蒸着装置，其特征在于，所述坩埚呈桶状或者 长条状，所述坩埚呈长条状时，所述盛放装置具有多数个所述喷嘴，每一所述 喷嘴对应设置于一个所述喷嘴置放孔，多数个所述喷嘴置放孔呈一条直线。
5.如权利要求1所述的一种蒸着装置，其特征在于，所述壳罩与所述超导 液槽之间设置有带至少一孔的通气网。
6.如权利要求1所述的一种蒸着装置，其特征在于，所述超导液槽采用加 热丝加热。
7.一种蒸着装置组，其特征在于，包括至少二如权利要求1所述蒸着装置， 所述蒸着装置的所述壳罩侧表面对齐贴合。
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