[实用新型]加热线圈

说明书

技术领域

本实用新型涉及硅芯的加工设备技术领域，特别是涉及一种加热 线圈。

背景技术

目前，硅芯在国内的使用量非常巨大，制造硅芯的主要加工设备 为加热线圈。加热线圈包括聚热盘和设置在聚热盘上的环形加热管， 聚热盘上设有贯穿两端的拉制孔，该拉制孔置于环形加热管的内环 侧。在工作时，将加热线圈置于原料棒上，向环形加热管上通入高频 电流，环形加热管在高频电流的作用下产生交变磁场，这个交变的磁 场使聚热盘内部产生涡流(eddycurrent),从而使聚热盘迅速发热。 由于原料棒与聚热盘相接触，原料棒吸收聚热盘上的热量后融化，然 后将仔晶缓慢放入拉制孔内，仔晶与熔化原料保持2毫米间距，慢慢 提升仔晶，熔化后的原料就会跟随仔晶上升，形成一个新的晶体的制 成品。

在实现上述技术方案的过程中，发明人发现现有技术中至少存在 如下问题：由于拉制孔在加工完成后，拉制孔两端的开口边沿具有毛 刺，这些毛刺在交变磁场内会形成一个个小的发热源，导致聚热盘在 拉制孔两端开口处的局部温度过高，使得整个加热线圈上的受热不均 匀，特别是当需要拉制较大尺寸的晶体产品时，从拉制孔拉制出的晶 体产品的形状发生异变，不能满足加工的形状要求，使得现有技术中 的晶体产品的尺寸普遍偏小，不能满足大尺寸晶体产品的需求。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型提供一种加热线圈，主要目的在于提高加 热线圈的受热均匀性。

为达到上述目的，本实用新型主要提供如下技术方案：

本实用新型的实施例提供一种加热线圈，包括聚热盘和设置在聚 热盘上的环形加热管，所述聚热盘上设有贯穿两端的拉制孔；所述拉 制孔置于所述环形加热管的内环侧，所述拉制孔的两端开口均具有第 一倒角。

本实用新型的目的及解决其技术问题还可采用以下技术措施进 一步实现。

进一步的，前述的加热线圈，其中，所述拉制孔的数量为多个， 多个所述拉制孔绕所述环形加热管的中心线均匀设置。

进一步的，前述的加热线圈，其中，

所述第一倒角为圆角或斜角。

进一步的，前述的加热线圈，其中，

所述第一倒角为斜角，所述第一倒角沿所述中心线方向的高度为 1.5mm～3mm。

进一步的，前述的加热线圈，其中，

所述聚热盘上还设有贯穿两端的引流孔，所述引流孔置于所述环 形加热管的内环侧；

所述引流孔的数量为多个，且与所述拉制孔的数量相等；

多个所述引流孔绕所述中心线均匀设置，且多个所述引流孔与多 个所述拉制孔依次间隔；

多个所述引流孔基于所述聚热盘沿径向向所述中心线处延伸，且 在所述中心线处汇聚形成通孔。

进一步的，前述的加热线圈，其中，

所述引流孔的两端开口均具有第二倒角。

进一步的，前述的加热线圈，其中，

所述第二倒角为圆角或斜角。

进一步的，前述的加热线圈，其中，

所述第二倒角为斜角，所述第二倒角沿所述中心线方向的高度为 1.5mm～3mm。

进一步的，前述的加热线圈，其中，

所述聚热盘为圆盘，所述圆盘的中心线与所述环形加热管的中心 线重合。

进一步的，前述的加热线圈，其中，

所述圆盘的外径为160mm～175mm。

借由上述技术方案，本实用新型加热线圈至少具有以下有益效 果：

在本实用新型提供的技术方案中，因为拉制孔的两端开口均具有 第一倒角，从而使拉制孔的两端开口的边沿更加平滑，相对于现有技 术中拉制孔的两端开口由于具有毛刺而会使毛刺处的局部温度升高， 本实用新型加热线圈的拉制孔在倒角后使毛刺大大减少，从而减小了 加热线圈上局部温度升高的现象的发生，使加热线圈上的温度更加均 匀。

上述说明仅是本实用新型技术方案的概述，为了能够更清楚了解 本实用新型的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本 实用新型的较佳实施例并配合附图详细说明如后。

附图说明

图1是本实用新型的一实施例提供的一种加热线圈的结构示意 图；

图2是图1中A向的剖面示意图。

具体实施方式