[实用新型]一种复合衬底具有其的GaN基LED芯片有效
申请号: | 201520843683.7 | 申请日: | 2015-10-28 |
公开(公告)号: | CN205092261U | 公开(公告)日: | 2016-03-16 |
发明(设计)人: | 冯猛;陈立人;刘恒山 | 申请(专利权)人: | 聚灿光电科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L33/32 | 分类号: | H01L33/32 |
代理公司: | 苏州威世朋知识产权代理事务所(普通合伙) 32235 | 代理人: | 杨林洁 |
地址: | 215123 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 复合 衬底 具有 gan led 芯片 | ||
1.一种复合衬底,其特征在于,所述复合衬底包括彼此复合的第一衬底和第二衬底,其中,所述第一衬底包括上表面及与上表面相背的下表面,所述第一衬底的上表面用于生长GaN外延层,所述第一衬底的下表面用于与所述第二衬底复合,所述第二衬底的热膨胀系数小于3×10-6/K。
2.根据权利要求1所述的复合衬底,其特征在于,所述第二衬底的厚度为0.5~10μm。
3.根据权利要求1所述的复合衬底,其特征在于,所述GaN外延层包括低温缓冲层,非故意参杂GaN层,n型GaN层,InGaN/GaN量子阱层,p型GaN层。
4.一种GaN基LED芯片,其特征在于,所述GaN基LED芯片包括复合衬底及生长在所述复合衬底上的GaN外延层,所述复合衬底包括彼此复合的第一衬底和第二衬底,其中,所述第一衬底包括上表面及与上表面相背的下表面,所述第一衬底的上表面用于生长所述GaN外延层,所述第一衬底的下表面用于与所述第二衬底复合,所述第二衬底的热膨胀系数小于3×10-6/K。
5.根据权利要求4所述的GaN基LED芯片,所述第二衬底的厚度为0.5~10μm。
6.根据权利要求4所述的GaN基LED芯片,所述GaN外延层包括低温缓冲层,非故意参杂GaN层,n型GaN层,InGaN/GaN量子阱层,p型GaN层。
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