[实用新型]一种硼扩散炉及其炉门有效
| 申请号： | 201520844608.2 | 申请日： | 2015-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN205088336U | 公开（公告）日： | 2016-03-16 |
| 发明（设计）人： | 胡亚男;戎帅 | 申请（专利权）人： | 英利能源（中国）有限公司 |
| 主分类号： | C30B31/00 | 分类号： | C30B31/00;H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 李海建 |
| 地址： | 071051 河*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 扩散 及其 炉门 | ||
【权利要求书】：
1.一种硼扩散炉的炉门，包括石英炉门本体(1)，其特征在于，还包括与所述石英炉门本体(1)的内端面相连，且在所述石英炉门本体(1)关闭时嵌入炉管(4)内的石英挡盘(2)，所述石英挡盘(2)的直径与所述炉管(4)的直径相等。
2.如权利要求1所述的硼扩散炉的炉门，其特征在于，所述石英挡盘(2)通过石英支撑柱(3)与所述石英炉门本体(1)相连。
3.如权利要求2所述的硼扩散炉的炉门，其特征在于，所述石英挡盘(2)通过三根平行设置的石英支撑柱(3)与所述炉门本体(1)相连，且在同一截面内，三根所述石英支撑柱(3)分别位于同一个三角形的三个点上。
4.如权利要求1-3任意一项所述的硼扩散炉的炉门，其特征在于，还包括镀设于所述石英挡盘(2)的端面上的保护膜。
5.如权利要求4所述的硼扩散炉的炉门，其特征在于，还包括镀设于所述石英炉门本体(1)的内端面上的保护膜。
6.如权利要求5所述的硼扩散炉的炉门，其特征在于，所述保护膜为氮化硅薄膜。
7.如权利要求5所述的硼扩散炉的炉门，其特征在于，所述保护膜为氮化铝或氧化钛薄膜。
8.如权利要求5所述的硼扩散炉的炉门，其特征在于，所述保护膜的厚度为0.3mm-0.8mm。
9.一种硼扩散炉，包括炉门，其特征在于，所述炉门为如权利要求1-8任意一项所述的炉门。
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