[实用新型]一种CO2激光器及其外光路传输系统

权利要求书

1.一种CO2激光器的外光路传输系统，其特征在于，包括用于将CO2激光器发出的径向 截面为椭圆的激光束、整形成径向截面为圆形激光束的光束整形装置，所述光束整形装置 包括设置在CO2激光器出射光的光路上的棱镜；所述棱镜的第一侧面与CO2激光器的出射光 垂直，CO2激光器射出的激光束垂直第一侧面进入棱镜，并在棱镜的第二侧面发生折射后射 出；所述棱镜的主截面与所述椭圆的长轴平行，所述棱镜的顶角小于棱镜的第二侧面发生 全反射的临界角。

2.根据权利要求1所述的CO2激光器的外光路传输系统，其特征在于，所述棱镜为硒化 锌光楔。

3.根据权利要求1所述的CO2激光器的外光路传输系统，其特征在于，所述光束整形装 置还包括用于改变CO2激光器射出的激光束的路径，使激光束垂直入射到所述棱镜的第一 侧面上的激光反射镜，所述激光反射镜可转动的设置在所述棱镜和CO2激光器之间的光路 上。

4.根据权利要求3所述的CO2激光器的外光路传输系统，其特征在于，所述棱镜可转动 的设置在激光反射镜反射光的光路上。

5.根据权利要求1所述的CO2激光器的外光路传输系统，其特征在于，所述光束整形装 置可转动的设置在CO2激光器出射激光的一端。

6.根据权利要求1所述的CO2激光器的外光路传输系统，其特征在于，所述外光路传输 系统还包括四分之一波片，所述四分之一波片设置在所述光束整形装置的出射光的光路 上，所述四分之一波片的光轴面与光束整形装置的出射光的线偏振方向呈45°。

7.根据权利要求6所述的CO2激光器的外光路传输系统，其特征在于，所述外光路传输 系统还包括用于将可见光混入到激光束中的混合光装置，所述混合光装置设置在光束整形 装置与四分之一波片之间的光路上。

8.根据权利要求7所述的CO2激光器的外光路传输系统，其特征在于，所述外光路传输 系统还包括扩束镜、第一反射镜、第二反射镜、第三反射镜和聚焦镜；CO2激光器射出的激光 束，在光束整形装置中整形成光斑为圆形的激光束后，与指示光源提供的可见光在合束镜 中混合，并通过扩束镜扩束后，以45°入射角入射到第一反射镜中，第一反射镜出射的激光 束以45°入射角入射到第二反射镜中，第二反射镜出射的激光束以45°入射角入射到第三反 射镜中，第三反射镜出射的激光束经过四分之一波片后，经聚焦镜聚焦后，照射到被切割的 工件上。

9.一种CO2激光器，其特征在于，包括如权利要求1-8任意一项所述的CO2激光器的外光 路传输系统。