[实用新型]真空反应炉和真空泵之间的过滤缓冲装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种真空反应炉和真空泵之间的过滤缓冲装置。

背景技术

目前，真空生产线进、出真空室利用真空泵一直在进行大气、真空的转换。现有技术用真空泵的抽气口直接伸入真空室内，将空气抽出达到真空环境。

但是开启真空泵时，空气直接从真空室内通过抽气口排出，由于抽气速率大，造成真空室内的载物移动，或是带动载物或是灰尘抽到真空泵中，损坏旋片，减少真空泵的使用寿命。

发明内容

本实用新型针对以上问题的提出，而研究设计一种真空反应炉和真空泵之间的过滤缓冲装置，用以解决现有的真空泵开启时，空气直接从真空反应炉的真空室内通过抽气口排出，由于抽气速率大，造成真空室内的载物移动，或是带动载物或是灰尘抽到真空泵中，损坏旋片，减少泵的使用寿命的缺点。本实用新型采用的技术手段如下：

一种真空反应炉和真空泵之间的过滤缓冲装置，包括真空反应炉和真空泵；真空反应炉依次通过第一传输段、第二传输段和过滤腔同真空泵连接，第一传输段水平设置，过滤腔竖直设置，第一传输段和过滤腔之间通过弧形管道的第二传输段连接，第二传输段的内壁顶部设置有多个上导向板，内壁底部设置有多个下导向板，经过上导向板的气流通过上导向板导向下导向板的正面，经过下导向板的气流通过下导向板导向上导向板的正面。

作为优选真空反应炉通过炉体连接管同第一传输段连接，炉体连接管上设置有真空压力表。

作为优选第二传输段底部设置有缓冲层，缓冲层的上部水平均匀设置有多个上层缓冲条，上层缓冲条的间隙下部依次设置有下层缓冲条。

作为优选上层缓冲条和下层缓冲条为三菱柱状缓冲条，三菱柱状缓冲条的两个侧面组成的棱角向上设置，组成该棱角的两个相邻侧面完全相同，组成该棱角的一侧侧面具有吸尘孔，三菱柱状缓冲条内部中空。

作为优选从真空反应炉向第一传输段传输方向，炉体连接管的直径逐渐变小。

与现有技术比较，本实用新型所述的真空反应炉和真空泵之间的过滤缓冲装置，第一传输段和过滤腔之间通过弧形管道的第二传输段连接，使经过第二传输段的气流通过弧形管道缓冲，减少真空泵运转时吸入空气的流量，进而减小空气流动对真空室内物体的作用力，并减少灰尘杂物对真空泵旋片的损害，并且第二传输段的内壁顶部设置有多个上导向板，内壁底部设置有多个下导向板，经过上导向板的气流通过上导向板导向下导向板的正面，经过下导向板的气流通过下导向板导向上导向板的正面，进一步起到了气流的缓冲作用。

本实用新型所述的真空反应炉和真空泵之间的过滤缓冲装置，第二传输段底部设置有缓冲层，缓冲层的上部水平均匀设置有多个上层缓冲条，上层缓冲条的间隙下部依次设置有下层缓冲条，对通过第二传输段末端的气流起到了二次缓冲作用，组成该棱角的一侧侧面具有吸尘孔，三菱柱状缓冲条内部中空，使流过棱角侧面的灰尘杂物能够吸入吸尘孔内，减少灰尘杂物向真空泵内的进入量，避免了真空泵旋片的损坏，增加了真空泵的使用寿命。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图。

图2是本实用新型第二传输段部的放大结构示意图。

图3是本实用新型缓冲层的放大结构示意图。

图4是本实用新型缓冲层的放大剖视图。

图5是本实用新型三菱柱状缓冲条的放大结构示意图。

其中：1、真空反应炉，2、炉体连接管，3、真空压力表，4、第一传输段，5、第二传输段，6、过滤腔，7、真空泵，8、缓冲层，

51、上导向板，52、下导向板，

81、上层缓冲条，82、下层缓冲条。

具体实施方式

如图1-图5所示，一种真空反应炉和真空泵之间的过滤缓冲装置，包括真空反应炉1和真空泵7；真空反应炉1依次通过第一传输段4、第二传输段5和过滤腔6同真空泵7连接，第一传输段4水平设置，过滤腔6竖直设置，第一传输段4和过滤腔6之间通过弧形管道的第二传输段5连接，使经过第二传输段5的气流通过弧形管道缓冲，减少真空泵7运转时吸入空气的流量，进而减小空气流动对真空室内物体的作用力，并减少灰尘杂物对真空泵7旋片的损害。

第二传输段5的内壁顶部设置有多个上导向板51，内壁底部设置有多个下导向板52，经过上导向板51的气流通过上导向板51导向下导向板52的正面，经过下导向板52的气流通过下导向板52导向上导向板51的正面，进一步起到了气流的缓冲作用。

真空反应炉1通过炉体连接管2同第一传输段4连接，炉体连接管2上设置有真空压力表3，用于测量炉体连接管2处的真空压力。