[实用新型]一种蓝宝石晶片的研磨装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及蓝宝石衬底片的加工领域，特别是涉及一种蓝宝石晶片的研磨装置。

背景技术

蓝宝石晶片研磨是蓝宝石晶片制造中非常重要的一项工艺流程，它决定了蓝宝石研磨后的TTV和WARP，以及表面粗糙度，现有的技术在应用中，一般先对浆料进行搅拌，然后倒入浆料桶中，使用浆料泵加输送管的方式，把浆料输送到研磨盘面上进行供给，研磨后的浆料重新回到浆料桶中，再循环利用，实际在研磨粉配置过程中，浆料搅拌往往很不均匀，没有完全搅拌开，研磨浆料悬浮性差，很容易造成晶片破裂和粗糙度超差的情况，这些崩边和破裂的晶片颗粒会进入到浆料中，循环使用再次输送到盘面上，会造成整桶浆料不能继续使用而浪费，研磨的晶片表面划伤，出现划痕，严重时会产生整盘爆盘，晶片全部损失的情况，加上研磨工艺过程控制不到位，造成研磨优质率下降，成本增高。

实用新型内容

针对上述问题，本实用新型提出了一种蓝宝石晶片的研磨装置及其研磨方法。

为解决以上技术问题，本实用新型提供的技术方案是:

一种蓝宝石晶片的研磨装置，其特征在于，包括浆料桶、蠕动泵和研磨机，所述蠕动泵包括2个泵头、输送管和泵出管，所述泵头对输送管进行输送控制，所述输送管和泵出管上分别套合有输送软管和泵出软管，所述研磨机包括横梁、浆料槽、研磨上盘和研磨下盘，所述横梁上设有控制气缸和软管支架，所述控制气缸竖直设置，包括气缸杆，所述气缸杆竖直朝下，并通过轴承与研磨上盘转动连接，实现研磨上盘在竖直方向上的运动和水平方向上的转动，所述浆料槽固定设置于研磨上盘上方，位于横梁和研磨上盘之间，并与研磨上盘固接，浆料槽呈圆环形的沟槽状，开口朝上，其下端面均匀设置于36个漏口，所述研磨上盘上设有36个贯穿研磨上盘的管接头，所述管接头均匀排布，并通过透明软管与漏口连接，连通浆料槽；

所述浆料桶放置于研磨机一侧，所述蠕动泵放置于研磨机的台面上，所述输送软管的一端通过捆缚重物的方式，沉与浆料桶底部，所述泵出软管的一端通过软管支架可拆卸式固定于浆料槽正上方，并均匀分布，泵出软管的出口正对浆料槽；

进一步的，所述蠕动泵数量至少为2台；

进一步的，所述输送软管和泵出软管为直径为8毫米的透明软管；

进一步的，所述研磨机上设有浆料排出口，所述浆料排出口配备有废浆料桶。

本实用新型所述的一种蓝宝石晶片的研磨装置及其研磨方法，具有以下特点：

（1）通过研磨机上盘上方的浆料槽，配合均匀分布的36个管接头，能够把浆料非常均匀的输送到研磨盘面的相应位置，保证了浆料输送的均匀性，同时保证了研磨的品质；

（2）通过使用蠕动泵取代传统的浆料泵的方式，浆料虽然没有循环使用，但是蠕动泵输送浆料更具有均匀性，也采用了较小的流量控制，浆料的耗用量并没有增加，材料成本没有上升；

（3）通过使用蠕动泵取代传统的浆料泵的方式，使浆料不再循环使用，带有晶片崩边和破裂颗粒的浆料不会再次循环到盘面上，极大的减少了划痕和破片，爆盘事故的发生，减少了异常损失；

（4）研磨的移除率更加稳定，不会产生过磨或移除率低的问题，且效率比较快，能达到1.8um/min的移除率，提高了设备效率。

附图说明

图1供给装置示意图。

图2浆料槽示意图。

具体实施方式

如图所示的一种蓝宝石晶片的研磨装置，其特征在于，包括浆料桶1、蠕动泵2和研磨机3，所述蠕动泵2包括2个泵头4、输送管5和泵出管6，所述泵头4对输送管5进行输送控制，所述输送管5和泵出管6上分别套合有输送软管7和泵出软管8，所述研磨机3包括横梁9、浆料槽10、研磨上盘11和研磨下盘19，所述横梁9上设有控制气缸12和软管支架13，所述控制气缸12竖直设置，包括气缸杆14，所述气缸杆14竖直朝下，并通过轴承与研磨上盘11转动连接，实现研磨上盘11在竖直方向上的运动和水平方向上的转动，所述浆料槽10固定设置于研磨上盘11上方，位于横梁9和研磨上盘11之间，并与研磨上盘11固接，浆料槽10呈圆环形的沟槽状，开口朝上，其下端面均匀设置于36个漏口15，所述研磨上盘11上设有36个贯穿研磨上盘11的管接头16，所述管接头16均匀排布，并通过透明软管与漏口15连接，连通浆料槽10；