[实用新型]一种具有双面高反射率的反射膜

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种具有双面高反射率的反射膜。

背景技术

银（Ag）在所有的常见金属材料中，对可见光和红外光的反射率最高。银对可见光的反射率在95%左右，对红外光的反射率可达99%，很容易蒸发，且中性好，其引入的偏振效应最小。因此，Ag是可见和近中红外光区的重要光学材料，Ag膜是重要的高反射膜系。

Ag膜还具有电子传导快、电阻率小、易制备等优点,在微电子器件、光电子器件、太阳能利用方面有着广泛的应用。例如液晶显示（LCD）、等离子显示板（PDP）及真空荧光显示（VFD）等都是采用在玻璃基体上形成Ag膜。

由于Ag与玻璃基体的附着力比较差，而且在一些特殊的气氛中易被腐蚀而脱落，从而影响了其使用性能。因此，增强膜层对玻璃基体的附着力是双面高反射膜的一个难点。在玻璃基体与Ag膜之间增加一层过渡层对于提高Ag膜与玻璃基体之间的附着力和维持界面力学稳定性有重要作用。目前Cr膜作为过渡层对于改善Ag膜的附着力得到了改善，然而，作为双面高反射镀膜膜系，膜层反面的反射率降低了很多。

实用新型内容

本实用新型解决的技术问题是，保证反射膜高反射率的同时，改善银膜与玻璃基体之间的附着力。

本实用新型的技术方案是，一种具有双面高反射率的反射膜，包括玻璃基体和银反射膜，在玻璃基体表面设过渡层，过渡层表面设银反射膜，所述过渡层为铝膜。

进一步地，所述铝膜的厚度为1-3nm。铝膜作为过渡层，其厚度不需要太厚，避免影响反射膜的反射率。

进一步地，所述银反射膜的厚度为200-250nm，所述玻璃基体的厚度为1-2mm。

进一步地，所述铝膜真空蒸镀在玻璃基体表面。

进一步地，所述玻璃基体为B270无色光学玻璃。

本实用新型在玻璃基体与高反射银膜之间引入一层铝（Al）膜作为过渡层，不仅可以使反射膜的反射率可以保持在90%以上，而且大大地提高了玻璃基体与银膜的结合强度。

附图说明

图1表示本实用新型提供的反射膜的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步说明。

实施例1

本实施例提供一种具有双面高反射率的反射膜，该反射膜为层状结构，依次为玻璃基体1、铝膜2、银膜3，其厚度分别为1.5mm、1.5nm、220nm。玻璃基体1采用的是B270无色光学玻璃；铝膜2、银膜3均采用真空镀膜工艺依次蒸镀。

该反射膜的制备工艺流程为：取1.5mm厚的B270光学玻璃，经过清洗剂超声清洗→去离子水超声清洗→漂洗→异丙醇脱水干燥，放入真空镀膜设备，将设备抽至高真空，预热一定时间，蒸镀纯Al膜，厚度控制在约20?，再将设备抽至高真空，预热一定时间，镀纯Ag薄膜，将厚度控制在约220?→设备进大气，完成双面高反射膜的制作。

实施例2

本实施例提供一种具有双面高反射率的反射膜，该反射膜与实施例1的结构和制备方法均相同，区别仅在于玻璃基体1、铝膜2、银膜3的厚度分别为1.5mm、2.5nm、240nm。

将上述实施例1和2得到的反射膜与现有的反射膜进行进行附着力和反射率测试的对比，结果如下：

用棉签以一定的力度在膜层表面摩擦，对薄膜和玻璃基体之间的附着力进行检测，结果表明：普通高反射膜系经过1次摩擦膜层就脱落了，而Al作为过渡层的膜系经过10次摩擦膜层还未脱落，由此说明Al膜作为过渡层得到的高反射膜系与玻璃基体的附着力有明显改善。

用UV1900紫外分光光度计分别对引入Cr膜和Al膜为过渡层得到的高反射膜系的反面反射率检测，结果显示：Cr膜作为过渡层的高反射膜的反面反射率约为75%，引入Al膜为过渡层得到的高反射膜的反面反射率约为91%。采用这种Al膜为过渡层的双面高反射镀膜膜系，与其它双面高反射镀膜膜系相比，Ag膜和玻璃基体之间的附着力有明显的改善，而且这种过渡层对Ag膜的反面反射率影响要小很多。