[实用新型]一种桥堆半成品测试机有效
申请号: | 201520856364.X | 申请日: | 2015-10-30 |
公开(公告)号: | CN205140933U | 公开(公告)日: | 2016-04-06 |
发明(设计)人: | 李向东;黄兵 | 申请(专利权)人: | 淄博才聚电子科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/66 | 分类号: | H01L21/66 |
代理公司: | 淄博佳和专利代理事务所 37223 | 代理人: | 张雯 |
地址: | 255086 山东省淄*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 半成品 测试 | ||
1.一种桥堆半成品测试机,其特征在于:包括
测试台(3):排放桥堆半成品;
动力机构:带动测试台(3)运动,并输送桥堆半成品;
测试机构:承接测试台(3)输送的桥堆半成品并检测,测试机构有两个,分别对测试台(3)两侧的桥堆半成品检测;
位置检测机构:检测桥堆半成品的位置并输送给控制装置,控制装置控制测试机构与动力机构相配合对输送机构上的堆栈半成品测试。
2.根据权利要求1所述的桥堆半成品测试机,其特征在于:所述的动力机构包括伺服电机(18)、同步带轮(15)以及同步带(11),所述测试台(3)与同步带(11)固定连接。
3.根据权利要求1所述的桥堆半成品测试机,其特征在于:所述的测试机构包括检测仪表、与检测仪表连通的检测触头(7)以及推动机构,检测触头(7)上设有与桥堆半成品相适配的多个触点,推动机构与检测触头(7)相连,并推动检测触头(7)与所述桥堆半成品的脚连通或断开。
4.根据权利要求3所述的桥堆半成品测试机,其特征在于:所述的推动机构包括气缸(2)、支撑臂(5)以及升降臂(8),支撑臂(5)固定设置,升降臂(8)可滑动的安装在支撑臂(5)上,气缸(2)与升降臂(8)相连并推动升降臂(8)移动;所述检测触头(7)与升降臂(8)固定连接。
5.根据权利要求4所述的桥堆半成品测试机,其特征在于:所述的气缸(2)和升降臂(8)分别设置在所述支撑臂(5)的两侧,气缸(2)通过横梁(9)与升降臂(8)相连。
6.根据权利要求1所述的桥堆半成品测试机,其特征在于:所述的位置检测机构包括位置检测开关(14)以及位置检测板(13),位置检测板(13)与所述测试台(3)固定连接,位置检测板(13)上间隔设有多个检测凸台,检测凸台与所述桥堆半成品一一对应,位置检测开关(14)检测检测凸台的位置并上传给控制装置。
7.根据权利要求6所述的桥堆半成品测试机,其特征在于:所述的位置检测开关(14)为对射式光电开关。
8.根据权利要求1所述的桥堆半成品测试机,其特征在于:还包括测试台限位机构,测试台限位机构包括设置在所述测试台(3)上的限位板(16)以及固定在测试台运动方向两端的限位开关(17)。
9.根据权利要求8所述的桥堆半成品测试机,其特征在于:所述的限位开关(17)为对射式光电开关。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造