[实用新型]一种直拉单晶用加热器有效
| 申请号： | 201520860066.8 | 申请日： | 2015-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN205115667U | 公开（公告）日： | 2016-03-30 |
| 发明（设计）人： | 吴丹 | 申请（专利权）人： | 西安通鑫半导体辅料有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/14 | 分类号： | C30B15/14;C30B29/06 |
| 代理公司： | 西安弘理专利事务所 61214 | 代理人： | 罗笛 |
| 地址： | 710300 陕西省*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 直拉单晶用 加热器 | ||
1.一种直拉单晶用加热器，其特征在于，包括加热器主体，加热器主体具有相对的第一端部(10)和第二端部(20)，所述加热器主体具有多个自所述第一端部(10)向所述第二端部(20)延伸的第一狭槽(1)以及多个自所述第二端部(20)向所述第一端部(10)延伸的第二狭槽(2)，所述多个第一狭槽(1)与多个第二狭槽(2)交替设置，相邻的两个第一狭槽(1)之间形成一个发热单元，每个发热单元均包括多个相连接的加热段，至少一个所述加热段具有开口。
2.如权利要求1所述的一种直拉单晶用加热器，其特征在于，所述发热单元包括沿所述加热器主体的轴向设置的第一加热段(3)与第二加热段(4)，所述第一加热段(3)或第二加热段(4)形成于一个第一狭槽(1)与一个相邻的第二狭槽(2)之间，所述开口开设于所述第一加热段(5)和/或第二加热段(6)，并靠近第一端部(10)或第二端部(20)。
3.如权利要求2所述的一种直拉单晶用加热器，其特征在于，所述发热单元还包括垂直于所述加热器主体的轴向设置的第一连接加热段(5)以及第二连接加热段(6)，所述第一连接加热段(5)靠近所述第一端部(10)、并连接于所述第一加热段(3)和第二加热段(4)之间，所述第二连接加热段(6)靠近所述第二端部(20)、且用于连接两个相邻的发热单元，所述开口还开设于所述第一连接加热段(5)或第二连接加热段(6)。
4.如权利要求3所述的一种直拉单晶用加热器，其特征在于，所述开口开设于所述第一连接加热段(5)，而且所述第一加热段(3)和/或第二加热段(4)的开口靠近所述第一连接加热段(5)。
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