[实用新型]液态物回收再利用结构

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种回收再利用结构，特别是指一种环保、节省成本、液态物不会混有空气，不会影响液态物定量的比例浓度，可使用于任何液态物的定量填充、回收利用的液态物回收再利用结构。

背景技术

于半导体业晶圆的制造程序中晶圆研磨对于晶圆表面全面性平坦化是有效的制程，也是半导体业晶圆制造重要的技术，在晶圆研磨制程中使用了晶圆研磨液（Slurry）及相关酸剂，其中包含晶圆研磨制剂其中的双氧水（H₂O₂)。

目前半导体业界关于双氧水（H₂O₂)的处理方式及结构，请配合参阅图11所示，其结构包含一储存槽1、一双氧水入料单元2、一混合槽3，其处理方式为排除多余双氧水，主要是储存槽1上方以管路连接双氧水入料单元2，储存槽1下方以管路连接混合槽3，因为，双氧水入料单元2是由储存槽1上方注入双氧水，所以在储存槽1内双氧水定量后往下输送到混合槽3时，无法排除储存槽1下方管路内的空气，造成管路内混有空气，该管路内的空气会影响到双氧水定量的比例浓度；且储存槽1并无连接任何溢流管、溢流槽，而无法将多余的双氧水预存下来以回收再利用。

有鉴于此，本设计人基于晶圆研磨制剂其中双氧水的处理方式及结构仍有上述多种缺点，乃本着多年从事该领域的专业实务经验，以及积极潜心研发思考，经由无数次的实际设计实验，致有本实用新型的产生。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种种液态物不会混有空气，而不会影响液态物定量的比例浓度，可使用于任何液态物的定量填充、回收利用的液态物回收再利用结构。

为了达成上述目的，本实用新型的解决方案是：

一种液态物回收再利用结构，包含：

一第一储存槽；

一第二储存槽，由一溢流管连接该第一储存槽；

一入料单元，提供液态物，该入料单元一端连接于该第一储存槽的底部；

一混合槽，一端与该入料单元的一端共同连接于该第一储存槽的底部；

一输送装置，与该第一储存槽、该第二储存槽相连接；

多个控制阀，设于该第一储存槽、该第二储存槽、该入料单元、该混合槽、该输送装置之间。

所述第一储存槽上方连接一进气单元，该进气单元提供氮气到该第一储存槽。

所述第二储存槽连接一安全装置。

所述输送装置为真空吸引器。

所述输送装置为抽送泵。

采用上述结构后，本实用新型液态物回收再利用结构的有利的效益为：环保、节省成本、液态物(如晶圆研磨制剂其中的双氧水，H₂O₂)不会混有空气，而不会影响液态物定量的比例浓度，输送装置50可为真空吸引器而无须电能、降低损坏率，可使用于任何液态物的定量填充、回收利用。

附图说明

图1为本实用新型液态物回收再利用结构的管线路图；

图2为本实用新型液态物回收再利用结构的运作图一；

图3为本实用新型液态物回收再利用结构的运作图二；

图4为本实用新型液态物回收再利用结构的运作图三；

图5为本实用新型液态物回收再利用结构的运作图四；

图6为本实用新型液态物回收再利用结构的运作图五；

图7为本实用新型液态物回收再利用结构的运作图六；

图8为本实用新型液态物回收再利用结构的运作图七；

图9为本实用新型液态物回收再利用结构另一实施例图；

图10为本实用新型液态物回收再利用结构另一实施例的运作图；

图11为现有半导体业其双氧水（H₂O₂)的处理结构。

其中：

储存槽1

双氧水入料单元2

混合槽3

第一储存槽10

第二储存槽20

溢流管21

入料单元30

混合槽40

输送装置50

控制阀61、62、63、64、65、66、67

进气单元70

安全装置80。

具体实施方式

为了进一步解释本实用新型的技术方案，下面通过具体实施例来对本实用新型进行详细阐述。