[实用新型]一种基于氮化镓的静电梳状驱动式微镜有效
| 申请号： | 201520872637.X | 申请日： | 2015-11-04 |
| 公开（公告）号： | CN205151756U | 公开（公告）日： | 2016-04-13 |
| 发明（设计）人： | 胡芳仁;刘昕;刘畅安;潘凌楠;吴成玲 | 申请（专利权）人： | 南京邮电大学 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00 |
| 代理公司： | 江苏爱信律师事务所 32241 | 代理人： | 唐小红 |
| 地址： | 210023 江苏省南*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 基于 氮化 静电 驱动 式微 | ||
【权利要求书】：
1.基于硅基氮化镓的静电梳状驱动式微镜，其特征在于，包括有：微镜(A) 的两端各伸出一个悬臂梁(G)，悬臂梁的单侧各分布多个可动梳齿(E)，固定梳 齿(D)则固定在外框上(F),每个可动梳齿(E)与固定梳齿(D)之间都有着相同的 间隙；在微镜(A)悬梁臂(G)与可动梳齿(E)的表面上，还覆盖了一层氮化镓 结构(B)。
2.如权利要求1所述的基于硅基氮化镓的静电梳状驱动式微镜，其特征在 于，可动梳齿(E)和固定梳齿(D)在垂直方向有一个高度差，每个可动梳齿与固定 梳齿之间都有着相同的间隙，硅层的厚度为200μm。
3.如权利要求1所述的基于硅基氮化镓的静电梳状驱动式微镜，其特征在 于，覆盖的一层氮化镓(B)结构厚度为200nm。
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