[实用新型]膜厚的检测装置

权利要求书

1.一种膜厚的检测装置，其特征在于，所述检测装置包括：

公共电极(10)；

至少一个检测电极(20)，各所述检测电极(20)与所述公共电极(10)在第一方向上相对且间隔设置，且所述公共电极(10)的第一公共表面与各所述检测电极(20)的第一检测表面相对，所述第一公共表面与各所述第一检测表面之间形成待测膜的检测通道；以及

检测电路(3)，与各所述检测电极(20)电连接，所述检测电路(3)包括误差消除单元(35)，所述误差消除单元(35)用于消除噪音信号，所述噪音信号为所述公共电极未加载电压时，所述检测电极(20)上的电信号。

2.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述检测电路(3)还包括复位单元(34)，所述复位单元(34)与所述误差消除单元(35)电连接，其中，所述复位单元(34)用于存储所述噪音信号。

3.根据权利要求2所述的检测装置，其特征在于，所述检测电路(3)还包括：

移位控制单元(31)，包括输入端，所述输入端与各所述检测电极(20)电连接，所述移位控制单元(31)用于控制多个所述检测电极(20)的电信号的输出顺序；以及

放大单元(32)，一端与所述移位控制单元(31)的输出端电连接，另一端分别与所述复位单元(34)和所述误差消除单元(35)电连接，所述放大单元(32)用于放大接收到的所述电信号。

4.根据权利要求3所述的检测装置，其特征在于，所述检测装置中包括多个所述检测电极(20)，且多个所述检测电极(20)被分为沿第二方向间隔设置的多个检测电极组(2)，所述第二方向与所述待测膜的移动方向垂直，且与所述第一方向垂直，各所述检测电极组(2)包括两个检测电极(20)，所述移位控制单元(31)包括两个移位控制模块，各所述检测电极组(2)中的两个所述检测电极(20)与两个所述移位控制模块的输入端一一对应电连接。

5.根据权利要求3所述的检测装置，其特征在于，所述放大单元(32)为差分放大单元。

6.根据权利要求3所述的检测装置，其特征在于，所述检测电路(3)还包括信号传输时序控制单元(33)，所述信号传输时序控制单元(33)设置在所述放大单元(32)与所述复位单元(34)之间，所述信号传输时序控制单元(33)用于控制所述放大单元(32)是否向所述复位单元(34)输入所述电信号。

7.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述检测装置还包括：

第一基板(30)，所述公共电极(10)设置在所述第一基板(30)的第一表面上，所述第一基板(30)的第一表面与所述第一方向垂直；以及

第二基板(40)，与所述第一基板(30)在所述第一方向上间隔设置，所述第二基板(40)的第一表面朝向所述第一基板(30)的第一表面，并且与所述第一基板(30)的第一表面平行，各所述检测电极(20)设置在所述第二基板(40)的第一表面上。

8.根据权利要求7所述的检测装置，其特征在于，所述第一基板(30)与所述第二基板(40)均为陶瓷基板。

9.根据权利要求7或8所述的检测装置，其特征在于，所述检测装置还包括：

第一框体(50)，所述第一基板(30)设置在所述第一框体(50)的第一表面上；以及

第二框体(60)，与所述第一框体(50)在所述第一方向上间隔设置，所述第二基板(40)设置在所述第二框体(60)的第一表面上。

10.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述检测装置中还包括：

第一保护层(12)，设置在所述第一公共表面上；以及

第二保护层(22)，设置在所有所述第一检测表面上。

11.根据权利要求10所述的检测装置，其特征在于，所述检测装置中还包括：

第一导电薄膜(11)，设置在所述公共电极(10)与所述第一保护层(12)之间；以及

第二导电薄膜(21)，设置在所有所述检测电极(20)与所述第二保护层(22)之间。