[实用新型]用于石墨坩埚的排渣结构

说明书

技术领域

本实用新型涉及单晶生产设备领域，尤其是一种用于石墨坩埚的排渣结构。

背景技术

单晶硅拉制一般在单晶炉中进行，目前，所使用的单晶炉包括炉体，炉体内设置有石墨坩埚，现有的石墨坩埚为三瓣锅，石墨坩埚内设置有石英坩锅，石墨坩埚外侧设置有加热器，所述炉体底部设置抽气孔，为了提高石英坩埚的吸热效率，通常将石英坩埚的外表面设计成毛面，石英坩埚的内表面设计为光滑面，但是石英坩埚的毛面在高速惰性气体的冲刷下，会脱落一些二氧化硅颗粒，这些二氧化硅颗粒掉落在石英坩埚与石墨坩埚之间的缝隙中，并在高速惰性气体的裹带下一部分沿着石英坩埚与石墨坩埚之间的缝隙向上冲出，一部分从三瓣锅锅瓣之间的缝隙中冲出，由于抽气孔设置在炉体的底部，沿着石英坩埚与石墨坩埚之间的缝隙向上冲出的二氧化硅颗粒在向抽气孔运动的过程中容易掉落至石英坩埚内，这样就会导致最后生产出来的单晶硅存在二氧化硅的杂质颗粒，使得单晶硅的纯度大大降低，无法达到生产要求，另外，一部分的二氧化硅颗粒在高速惰性气体的裹带下从三瓣锅锅瓣的缝隙中冲出时，会对三瓣锅锅瓣的缝隙边缘造成冲刷，多次冲刷后会将锅瓣的缝隙冲刷的越来越大，一般现有的三瓣锅在使用30次左右，三瓣锅锅瓣之间的缝隙就会太大致使三瓣锅无法使用而报废，使得石墨坩埚的使用寿命较短。

现有的克服上述缺陷的石墨坩埚一般为在石墨坩埚壁面上设置通孔，将石英坩埚毛面脱落的二氧化硅颗粒在高速惰性气体的裹带下，直接从排渣孔中排出。但是，这样的方式往往会在使用很短时间后随即导致排渣孔因颗粒堆积而导致的堵塞，而且所述排渣孔堵塞后的清理工作更加费时。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种能够有效防止石墨坩埚壁面排渣孔被堵塞的同时，还可以进一步提高二氧化硅颗粒吹扫效率的用于石墨坩埚的排渣结构。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：用于石墨坩埚的排渣结构，包括石墨坩埚，石墨坩埚内设置有石英坩埚，石英坩埚与石墨坩埚之间存在间隙，所述石墨坩埚包括锅壁与锅底，所述锅壁上设置有至少一个沿壁厚方向贯穿锅壁的排渣孔，所述排渣孔为喇叭口状，其中排渣孔的小口端设置于所述锅壁的内壁面上，所述排渣孔的大口端设置于锅壁的外壁面上；还包括设置于石墨坩埚锅壁上端面的用于防止惰性吹扫气体从石英坩埚与石墨坩埚之间的间隙内冲出的环形石墨盖板，所述环形石墨盖板的外径大于或等于石墨坩埚锅壁的外径，所述环形石墨盖板的内径大于石英坩埚的内径且小于石英坩埚的外径，所述石墨坩埚锅壁的上端面设置有环形凹槽，所述环形石墨盖板的下表面设置与环形凹槽相匹配的环形卡板，所述环形卡板卡在环形凹槽内，所述环形石墨盖板上设置有多个用于通入惰性吹扫气体的通气孔，所述石英坩埚和石墨坩埚之间的间隙与多个通气孔连通。

进一步的是，所述排渣孔均布于锅壁上。

进一步的是，所述锅壁的下端为内凹的圆弧，所述排渣孔设置在锅壁下端的圆弧处。

进一步的是，所述锅壁与锅底通过可拆卸结构连接。

进一步的是，在锅底上设置与锅壁下端相适配的卡槽形成所述的可拆卸结构。

本实用新型的有益效果是：在实际使用时，会首先通过高速气流将石英坩埚毛面脱落的二氧化硅颗粒在高速惰性气体的裹带下，直接从排渣孔中排出。由于本实用新型创造性的将排渣孔设计为喇叭口状，且开口向外，因此即便出现某个体积较大的二氧化硅颗粒将排渣孔暂时堵塞，这一堵塞的二氧化硅颗粒也会在所述高速惰性气体的冲击下很快的从喇叭口状的排渣孔处排出，从而保证排渣孔的畅通。与此同时的，增设的环形石墨盖板可以防止惰性吹扫气体从石英坩埚与石墨坩埚之间的间隙内冲出，使得全部的气流经由排渣孔中排出，从而大大提高了吹扫效率。本实用新型对原有结构的改动很小，只需简单的在外壁面上进行扩孔加工以及增设环形石墨盖板即可，但是却可以很好的解决传统排渣孔极可能出现的堵塞问题以及提高排渣效率，尤其适用于石墨坩埚的气体冲刷工序中。

附图说明

图1是本实用新型用于石墨坩埚的排渣结构的示意图；

图2是本实用新型所述环形石墨盖板的俯视图；

图中标记为：锅壁1、锅底2、排渣孔3、大口端31、小口端32、卡槽4、环形石墨盖板5、石英坩埚6、环形凹槽7、环形卡板8、通气孔9。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型进一步说明。