[实用新型]籽晶案板有效
申请号: | 201520876599.5 | 申请日: | 2015-11-05 |
公开(公告)号: | CN205099788U | 公开(公告)日: | 2016-03-23 |
发明(设计)人: | 葛姚刚;朱文辉 | 申请(专利权)人: | 常州亿晶光电科技有限公司 |
主分类号: | C30B35/00 | 分类号: | C30B35/00 |
代理公司: | 常州市英诺创信专利代理事务所(普通合伙) 32258 | 代理人: | 郑云 |
地址: | 213213 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 籽晶 案板 | ||
【权利要求书】:
1.一种籽晶案板,其特征在于:包括板体(1),所述板体(1)的内部设有一腔室(2),板体(1)的侧面开有与腔室(2)连通的抽真空口(3),板体(1)的上表面开有若干与腔室(2)连通的小孔(4)。
2.如权利要求1所述的籽晶案板,其特征在于:所述板体(1)的上表面与抽真空口(3)相对的一侧设有第一凸起(5),板体(1)的下表面与上表面第一凸起(5)对应的位置设有第二凸起(6)。
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