[实用新型]一种应用于测量检测领域高精度气浮旋转运动部件的气源处理装置

权利要求书

1.应用于测量检测领域高精度气浮旋转运动部件的气源处理装置，其特征在于：它由上盖（1），法兰盘（2），筒体（3），下盖（4），底座（5），密封圈（6），上内芯（7），中内芯（12），下内芯（8）以及填充物硅胶（13），定型滤纸（9），脱脂棉（11），活性炭（10）构成，法兰盘（2）和下盖（4）与筒体（3）焊接为一体，下内芯（8）装在筒体（3）内并在其上填充定性滤纸（9），再在定型滤纸（9）上填充活性炭（10），活性炭（10）上再填充定型滤纸（9），再在定型滤纸（9）上填充脱脂棉（11），脱脂棉（11）上填充定型滤纸（9），然后在定性滤纸（9）上装中内芯（12），在中内芯（12）上装上内芯（7），再在上内芯（7）内填充硅胶（13），最后在上内芯（7）上填充定型滤纸（9），最后在法兰盘（2）上装密封圈（6）和上盖（1）并用螺栓固定。

2.如权利要求1所述的应用于测量检测领域高精度气浮旋转运动部件的气源处理装置，其特征在于:所述的筒体（3）为空心管体，材料为无缝钢。

3.如权利要求1所述的应用于测量检测领域高精度气浮旋转运动部件的气源处理装置，其特征在于:所述的上内芯（7），材料为A3，表面镀锌。

4.如权利要求1所述的应用于测量检测领域高精度气浮旋转运动部件的气源处理装置，其特征在于:所述的中内芯（12），材料为A3，表面镀锌。

5.如权利要求1所述的应用于测量检测领域高精度气浮旋转运动部件的气源处理装置，其特征在于:所述的下内芯（8），材料为A3，表面镀锌。

6.如权利要求1所述的应用于测量检测领域高精度气浮旋转运动部件的气源处理装置，其特征在于:所述的填充物硅胶（13），定型滤纸（9），脱脂棉（11），活性炭（10）的填充顺序。