[实用新型]一种指向性MEMS麦克风有效
| 申请号： | 201520887116.1 | 申请日： | 2015-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN205092968U | 公开（公告）日： | 2016-03-16 |
| 发明（设计）人： | 安春璐 | 申请（专利权）人： | 歌尔声学股份有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 北京博雅睿泉专利代理事务所(特殊普通合伙) 11442 | 代理人： | 王昭智;马佑平 |
| 地址： | 261031 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 指向 mems 麦克风 | ||
1.一种指向性MEMS麦克风，其特征在于：包括PCB板(1)、壳体(2)，所述壳体(2)固定在PCB板(1)的一侧，并与PCB板(1)形成具有密闭空间的第一外部封装，还包括位于密闭空间内的MEMS芯片(4)、ASIC芯片(3)，所述MEMS芯片(4)、ASIC芯片(3)设置在PCB板(1)上，其中，所述PCB板(1)上位于MEMS芯片(4)下方的位置设置有第一声孔(12)，所述PCB板(1)上还设置有连通所述密闭空间的第二声孔(11)；在所述PCB板(1)的另一侧还设置有与PCB板(1)围成第二外部封装的第一金属壳体(5)，所述第二外部封装具有连通第二声孔(11)的第一声音通道(7)；所述第一金属壳体(5)上还设有连通第一声音通道(7)与外界的第三声孔(9)，其中，第三声孔(9)、第一声音通道(7)、第二声孔(11)作为麦克风的次声音流通通道，其中，还包括覆盖所述次声音流通通道的阻尼结构。
2.根据权利要求1所述的指向性MEMS麦克风，其特征在于：所述阻尼结构为覆盖所述第二声孔(11)或第三声孔(9)的阻尼垫。
3.根据权利要求1所述的指向性MEMS麦克风，其特征在于：所述第三声孔(9)为微孔，所述微孔构成了覆盖所述次声音流通通道的阻尼结构。
4.根据权利要求3所述的指向性MEMS麦克风，其特征在于：所述微孔的孔径为30-50微米。
5.根据权利要求1所述的指向性MEMS麦克风，其特征在于：在所述PCB板上还设置有与PCB板(1)围成第三外部封装的第二金属壳体(10)，所述第三外部封装具有连通第一声孔(12)的第二声音通道(6)；所述第二金属壳体(10)上还设有连通第二声音通道(6)与外界的第四声孔(8)，其中，所述第四声孔(8)、第二声音通道(6)、第一声孔(12)作为麦克风的主声音流通通道。
6.根据权利要求5所述的指向性MEMS麦克风，其特征在于：在所述第二金属壳体(10)上还设有覆盖所述第四声孔(8)的阻尼结构或第一防尘网(13)。
7.根据权利要求5所述的指向性MEMS麦克风，其特征在于：在所述第一金属壳体(5)上还设有覆盖所述第三声孔(9)的第二防尘网(14)。
8.根据权利要求5所述的指向性MEMS麦克风，其特征在于：所述第一金属壳体(5)、第二金属壳体(10)通过SMT的方式贴装在PCB板(1)上。
9.根据权利要求5所述的指向性MEMS麦克风，其特征在于：所述第三声孔(9)、第四声孔(8)分别设置在第一金属壳体(5)、第二金属壳体(10)的底端。
10.根据权利要求5所述的指向性MEMS麦克风，其特征在于：所述第三声孔(9)设置在第一金属壳体(5)的侧壁，所述第四声孔(8)设置在第二金属壳体(10)的底端。
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