[实用新型]一种PARYLENE蒸汽过滤捕集器有效
申请号: | 201520894687.8 | 申请日: | 2015-11-11 |
公开(公告)号: | CN205182440U | 公开(公告)日: | 2016-04-27 |
发明(设计)人: | 王红涛 | 申请(专利权)人: | 深圳市纳尔逊科技有限公司 |
主分类号: | B01D50/00 | 分类号: | B01D50/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 518000 广东省深圳*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 parylene 蒸汽 过滤 捕集器 | ||
技术领域
本实用新型涉及一种捕集器设备,具体为一种PARYLENE蒸汽过滤捕集器。
背景技术
在PARYLENE镀膜过程中,一部分材料沉积在了工件的表面,另一部分通过管道进入真空泵。这样就会使真空泵油很快变差,影响工作效能,严重的会损坏真空泵。频繁换油又会增加成本。所以在目前的市场上所使用的设备中非常的不理想,需要将其改进与更换。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种PARYLENE蒸汽过滤捕集器,以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种PARYLENE蒸汽过滤捕集器,包括蒸汽入口处、导热丝、捕集器体、蒸汽出口处和冷冻头放置处,其特征在于,所述的捕集器体上端设有上顶盖,捕集器体上端的四周设有导热丝,捕集器体上端的腔体内设有冷冻头放置处,所述的捕集器体在上部外侧设有蒸汽入口处,捕集器体在下部外侧设有蒸汽出口处,捕集器体底部设有清洁口,清洁口上部为残渣收集处;所述的蒸汽入口处包括入口管和入口固定件,入口管一端与捕集器体固定连接,入口管另一端设有入口固定件;所述的蒸汽出口处包括出口管和出口固定件,出口管一端与捕集器体固定连接,出口管另一端设有出口固定件。
优选的,所述的导热丝缠绕成网状结构,这样可以增大导热丝与蒸汽之间的接触面积,迅速降低蒸汽的温度。
优选的,所述的导热丝为铜丝,铜丝具有不易生锈,导热快等优点。
本实用新型的有益效果在于:
(1)可以有效的防止真空泵损坏,提高真空泵使用寿命;
(2)避免频繁换油,提高效率降低成本等优点。
附图说明
图1为本实用新型结构示意图。
图中:1-入口管、2-入口固定件、3-蒸汽入口处、4-导热丝、5-捕集器体、6-残渣收集处、7-清洁口、8-蒸汽出口处、9-出口固定件、10-出口管、11-冷冻头放置处、12-上顶盖。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1,本实用新型提供一种PARYLENE蒸汽过滤捕集器,包括蒸汽入口处3、导热丝4、捕集器体5、蒸汽出口处8和冷冻头放置11处,其特征在于,所述的捕集器体5上端设有上顶盖12,捕集器体5上端的四周设有导热丝4,捕集器体5上端的腔体内设有冷冻头放置处11,所述的捕集器体5在上部外侧设有蒸汽入口处3,捕集器体5在下部外侧设有蒸汽出口处8,捕集器体5底部设有清洁口7,清洁口7上部为残渣收集处6;所述的蒸汽入口处3包括入口管1和入口固定件2,入口管1一端与捕集器体5固定连接,入口管1另一端设有入口固定件2;所述的蒸汽出口处8包括出口管10和出口固定件9,出口管10一端与捕集器体5固定连接,出口管10另一端设有出口固定件9。
所述的导热丝4缠绕成网状结构,这样可以增大导热丝与蒸汽之间的接触面积,迅速降低蒸汽的温度。
所述的导热丝4为铜丝,铜丝具有不易生锈,导热快等优点。
在PARYLENE镀膜过程中,一部分材料沉积在了工件的表面,另一部分通过管道进入真空泵。这样就会使真空泵油很快变差,影响工作效能,严重的会损坏真空泵。频繁换油又会增加成本。本技术就是在安装在真空泵的前段,增加一个低温腔体,里面有导热丝缠绕,材料经过低温腔体时就会被收集在里面,只需要定期清洁腔体,就可以有效的防止真空泵油快速变质。
在工作时,冷冻头的温度比较低,由于铜丝导热很快,冷冻头的低温会传导给铜丝,使铜丝达到-90℃,PARYLENE蒸汽的温度很高,同时伴有很多杂质,所以将PARYLENE蒸汽从本装置的蒸汽入口处3进入,经过导热丝4充分的降温之后,很多杂质会快速附在导热丝4上的网状结构,同时有些杂质还会掉入到残渣收集处6上,掉入到残渣收集处6的杂质可以通过清洁口7将其清理干净,蒸汽再经过蒸汽出口处8流出,这样流出的PARYLENE蒸汽就是比较干净的蒸汽,不会对真空泵油造成影响。
本实用新型的有益效果在于:可以有效的防止真空泵损坏,提高真空泵使用寿命;避免频繁换油,提高效率降低成本等优点。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
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