[实用新型]用于湿制程的磁式驱动装置

权利要求书

1.一种用于湿制程的磁式驱动装置，其特征在于，包括:

一夹持载具，包括一外框及活动结合在该外框内的一内环框；

一驱动单元，包括一致动器及受该致动器带动的一驱动杆；

一驱动磁铁组，设置在该驱动杆的一端并受该驱动杆的带动而旋转；

一旋转磁铁组，能够旋转地设置在该外框上并邻近该内环框的周缘；以及

一驱动轮，套置在该旋转磁铁组外并接触该内环框；

其中，具有该驱动磁铁组的该驱动杆一端伸入至该驱动磁铁组的内部，该旋转磁铁组受到该驱动磁铁组的磁力感应而带动该驱动轮旋转，该内环框摩擦接触该驱动轮而产生旋转。

2.根据权利要求1所述的用于湿制程的磁式驱动装置，其特征在于，其中该夹持载具还包括多个支撑组件，该多个支撑组件间隔设置在该外框上并支撑该内环框。

3.根据权利要求1所述的用于湿制程的磁式驱动装置，其特征在于，其中该夹持载具还包括一对夹持杆及多个夹具，该内环框具有能够容置一电路板的一镂空部，该对夹持杆固定在该镂空部相对的二侧，该多个夹具分别结合在对夹持杆上。

4.根据权利要求1所述的用于湿制程的磁式驱动装置，其特征在于，其中该驱动单元还包括一安装座及一轴承，该驱动杆通过该轴承而穿设该安装座。

5.根据权利要求1所述的用于湿制程的磁式驱动装置，其特征在于，其中该驱动单元还包括一护壳，该护壳包覆具有该驱动磁铁组的该驱动杆一端及该驱动磁铁组。

6.根据权利要求5所述的用于湿制程的磁式驱动装置，其特征在于，其中该护壳为一伸缩套管，并随着该驱动杆而伸缩。

7.根据权利要求1所述的用于湿制程的磁式驱动装置，其特征在于，其中该旋转磁铁组呈环形排列并具有一通孔，该驱动磁铁组设置在该通孔中。

8.根据权利要求1所述的用于湿制程的磁式驱动装置，其特征在于，其中该驱动磁铁组的外周缘面对应面向该旋转磁铁组的内周缘面，该驱动磁铁组包含多个内磁铁，并沿着该驱动磁铁组的外周缘面呈间隔及环形排列；该旋转磁铁组包含多个外磁铁，并沿着该旋转磁铁组的内周缘面呈间隔及环形排列。

9.根据权利要求1所述的用于湿制程的磁式驱动装置，其特征在于，还包括一从动轮，该从动轮设置在该外框上并接触该内环框，该从动轮与该驱动轮对应设置在该外框的二侧边。