[实用新型]一种VAD反应腔体内环境气流的控制装置有效
| 申请号： | 201520910939.1 | 申请日： | 2015-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN205115282U | 公开（公告）日： | 2016-03-30 |
| 发明（设计）人： | 沈小平;满小忠;向德成;钱昆;陈坤;徐震玥;沈国峰 | 申请（专利权）人： | 江苏通鼎光棒有限公司 |
| 主分类号： | C03B37/014 | 分类号： | C03B37/014 |
| 代理公司： | 天津滨海科纬知识产权代理有限公司 12211 | 代理人： | 杨慧玲 |
| 地址： | 215200 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 vad 反应 体内 环境 气流 控制 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种VAD反应腔体内环境气流的控制装置，其特征在于：包括沉积腔体、包灯、芯灯、伸入沉积腔体的引杆、以及沉积腔体内带有过孔的隔板、以及与外部包层沉积腔抽风系统连接的上抽风口、以及与外部芯层沉积腔抽风系统连接的下抽风口、以及沉积腔体内穿过隔板过孔的靶棒；所述靶棒固定在引杆上，通过引杆实现升降和旋转；所述隔板将沉积腔体分隔成上部的包层沉积腔和下部的芯层沉积腔；所述包灯和所述上抽风口对应处于所述包层沉积腔内的靶棒部分设置；所述芯灯和所述下抽风口对应处于所述芯层沉积腔内的靶棒部分设置。
2.根据权利要求1所述的一种VAD反应腔体内环境气流的控制装置，其特征在于：所述过孔为圆孔。
3.根据权利要求1所述的一种VAD反应腔体内环境气流的控制装置，其特征在于：所述隔板为钛板。
4.根据权利要求1所述的一种VAD反应腔体内环境气流的控制装置，其特征在于：所述上抽风口与所述包灯相对的设置在所述沉积腔体的两侧。
5.根据权利要求1所述的一种VAD反应腔体内环境气流的控制装置，其特征在于：所述下抽风口与所述芯灯相对的设置在所述沉积腔体的两侧。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于江苏通鼎光棒有限公司，未经江苏通鼎光棒有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201520910939.1/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
