[实用新型]一种高精度位移微调装置

权利要求书

1.一种高精度位移微调装置，包括滚子和平行设置的两个机架导轨（1），其特征在于，两个机架导轨（1）之间设置有平行设置的两个外滑块（2），两个外滑块（2）连成一体且端部连接有输出杆（9），两个外滑块（2）之间设置有内滑块（4），所述内滑块（4）与输出杆（9）相对应的一端设置有输入杆（3），所述滚子包括中心的内滚子部（8）、位于内滚子部（8）两侧对称设置的中间滚子部（7）、位于中间滚子部（7）两侧对称设置的外滚子部（6），所述内滑块（4）设置有可与中间滚子部（7）相卡合的卡合部（10），所述中间滚子部（7）分别与外滑块（2）相连，所述外滚子部（6）分别与机架导轨（1）相连，所述内滚子部（8）、中间滚子部（7）和外滚子部（6）的半径依次增大。

2.根据权利要求1所述的一种高精度位移微调装置，其特征在于，所述内滚子部（8）通过挠性带（5）与内滑块（4）相连。

3.根据权利要求2所述的一种高精度位移微调装置，其特征在于，所述中间滚子部（7）通过挠性带（5）与外滑块（2）相连。

4.根据权利要求3所述的一种高精度位移微调装置，其特征在于，所述外滚子部（6）通过挠性带（5）与机架导轨（1）相连。

5.根据权利要求1所述的一种高精度位移微调装置，其特征在于，所述卡合部（10）的横截面呈凸字形。

6.根据权利要求1所述的一种高精度位移微调装置，其特征在于，所述卡合部（10）的横截面呈山字形。