[实用新型]一种倒装发光二极管芯片有效
申请号: | 201520922310.9 | 申请日: | 2015-11-18 |
公开(公告)号: | CN205194731U | 公开(公告)日: | 2016-04-27 |
发明(设计)人: | 杨杰;常文斌;林宇杰 | 申请(专利权)人: | 上海博恩世通光电股份有限公司 |
主分类号: | H01L33/20 | 分类号: | H01L33/20;H01L33/14;H01L33/46;H01L33/00 |
代理公司: | 上海光华专利事务所 31219 | 代理人: | 罗泳文 |
地址: | 201108 上海*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 倒装 发光二极管 芯片 | ||
1.一种倒装发光二极管芯片,其特征在于,包括:
衬底;
外延结构,包括依次层叠的N型层、量子阱层以及P型层;
透明导电层,形成于所述外延结构表面;
绝缘沟槽,形成于所述透明导电层及外延结构的周侧,其深度为直至所述N型层内部,所述绝缘沟槽内填充有绝缘材料;
反射镜,形成于所述透明导电层表面;
绝缘阻挡层,形成于所述反射镜表面;
台面结构,形成于切割道区域,所述台面结构露出有N型层台面以及N型层侧壁;
反射导电层,形成于所述N型层的台面、N型层侧壁以及绝缘阻挡层的部分表面,且与所述N型层的台面结构及N型层侧壁形成欧姆接触,并且,于所述绝缘阻挡层表面具有P电极预留区域;
钝化层,覆盖于倒装发光二极管芯片表面,其具有直至所述反射导电层的N电极开孔,以及与所述P电极预留区域对应且直至所述透明导电层的P电极开孔;
N电极,形成于所述N电极开孔内;以及
P电极,形成于所述P电极开孔内。
2.根据权利要求1所述的倒装发光二极管芯片,其特征在于:所述N型层、量子阱层、P型层的基体材料为GaN,所述透明导电层的材料为ITO。
3.根据权利要求1所述的倒装发光二极管芯片,其特征在于:所述绝缘沟槽的宽度为1μm-8μm,其于所述外延结构内的深度为1μm-3μm,且其至少延伸至所述N型层的内部。
4.根据权利要求1所述的倒装发光二极管芯片,其特征在于:所述切割道区域位于所述绝缘沟槽的外侧。
5.根据权利要求1所述的倒装发光二极管芯片,其特征在于:所述N型层侧壁为斜面结构,所述斜面结构的宽度为1μm-4μm。
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