[实用新型]一种适用于激光烧蚀靶带的涂覆机有效
申请号: | 201520922467.1 | 申请日: | 2015-11-18 |
公开(公告)号: | CN205165076U | 公开(公告)日: | 2016-04-20 |
发明(设计)人: | 吴修伟;吴立志;王晓勇;沈瑞琪;叶迎华 | 申请(专利权)人: | 南京理工大学 |
主分类号: | B05C3/10 | 分类号: | B05C3/10;B05C11/04;B05C13/02;B05C15/00 |
代理公司: | 南京理工大学专利中心 32203 | 代理人: | 朱显国 |
地址: | 210094 *** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 适用于 激光 烧蚀靶带 涂覆机 | ||
1.一种适用于激光烧蚀靶带的涂覆机,其特征在于,在所述的涂覆机的工作台(6)上依次设置前置驱动装置(1)、前支架台(2)、涂覆装置(3),后支架台(4),后置驱动装置(5);
所述的前置驱动装置(1)包括前置滚动轮(7)、前转动轴(8)、前电机(9);其中,前转动轴(8)与前电机(9)相连接,前置滚动轮(7)通过固定螺丝(21)固定于前转动轴(8)上;
所述的涂覆装置(3)包括前置长方形模具(10)、搭放平台(11)、刮刀(12)、后置长方形模具(13)、升降桌(14);其中,前置长方形模具(10)放置于搭放平台(11)上,刮刀(12)放置于搭放平台(11)凸起处,升降桌(14)放置于搭放平台(11)与后支架台(4)之间,后置长方形模具(10)放置于升降桌(14)上;
所述的后置驱动装置(5)包括后滚动轴(15)、后置滚动轮(16)、后电机(17);其中,后转动轴(15)与后电机(17)相连接,后置滚动轮(16)通过固定螺丝(21)固定于后转动轴(15)上。
2.根据权利要求1所述的一种适用于激光烧蚀靶带的涂覆机,其特征在于,所述的前置滚动轮(7)和后置滚动轮(16)均包括放带轮(23)、固定轮(22)和固定螺丝(21),其放带轮(23)和固定轮(22)之间设有相吻合的螺纹结构,用于调整滚动轮中间放带距离,其最大距离为1cm。
3.根据权利要求1所述的一种适用于激光烧蚀靶带的涂覆机,其特征在于,所述的前置滚动轮(7)和后置滚动轮(16)设置在工作台(6)的高度一致。
4.根据权利要求1所述的一种适用于激光烧蚀靶带的涂覆机,其特征在于,所述的前置长方形模具(10)和后置长方形模具(13)均包括两个调节模具放带距离的滑块(18)以及底座(20),所述前置长方形模具(10)和后置长方形模具(13)的两个滑块(18)形成凹槽(19)。
5.根据权利要求4所述的一种适用于激光烧蚀靶带的涂覆机,其特征在于,所述的前置长方形模具(10)和后置长方形模具(13)的凹槽(19)的宽度一致,且最大值为1cm;凹槽(19)底部与支架台杠杆底部高度相同。
6.根据权利要求4所述的一种适用于激光烧蚀靶带的涂覆机,其特征在于,所述的滑块(18)与底座(20)的切角为135°。
7.根据权利要求4所述的一种适用于激光烧蚀靶带的涂覆机,其特征在于,所述的底座(20)的横截面为5cm*30cm,所述的滑块(18)为直角梯形台,其直角梯形截面的上底、下底长度分别为5cm,10cm,高度为5cm。
8.根据权利要求1所述的一种适用于激光烧蚀靶带的涂覆机,其特征在于,所述的涂覆机设置在真空箱内。
9.根据权利要求1所述的一种适用于激光烧蚀靶带的涂覆机,其特征在于,所述的前置滚动轮(7)、前置长方形模具(10)、刮刀(12)、后置长方形模具(13)、后置滚动轮(16)的个数均一致且至少为1。
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