[实用新型]一种硅片用显影机有效
| 申请号： | 201520930863.9 | 申请日： | 2015-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN205210515U | 公开（公告）日： | 2016-05-04 |
| 发明（设计）人： | 张运;孙者利 | 申请（专利权）人： | 济南卓微电子有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/26 | 分类号： | G03F7/26 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 250200 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 显影 | ||
【权利要求书】：
1.一种硅片用显影机，包括机台，在所述机台上设有显影液槽，其特征在于：所述显影机还包括花篮传动部分，所述花篮传动部分包括动力部件，所述动力部件包括转轴，在所述转轴上安装有偏心轮，所述偏心轮连接挂架。
2.按照权利要求1所述的显影机，其特征在于：所述偏心轮上设有销轴，所述销轴连接所述挂架。
3.按照权利要求2所述的显影机，其特征在于：所述挂架包括与所述销轴连接的连杆，所述连杆连接连接板，所述连接板连接挂板，在所述挂板的端部设有挂钩。
4.按照权利要求3所述的显影机，其特征在于：装有硅片的花篮连接在所述挂钩上。
5.按照权利要求2所述的显影机，其特征在于：所述机台上设有4个显影液槽，每个显影液槽均对应一套花篮传动部分。
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