[实用新型]压电式柔性三维触觉传感阵列有效
申请号: | 201520932273.X | 申请日: | 2015-11-20 |
公开(公告)号: | CN205157086U | 公开(公告)日: | 2016-04-13 |
发明(设计)人: | 傅新;俞平;刘伟庭 | 申请(专利权)人: | 浙江大学 |
主分类号: | G01L1/14 | 分类号: | G01L1/14;G01L1/16 |
代理公司: | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人: | 邱启旺 |
地址: | 310027 浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 压电 柔性 三维 触觉 传感 阵列 | ||
1.一种压电式柔性三维触觉传感阵列,其特征在于,柔性三维触觉传感阵列从上至下依次由PDMS表面凸起层(1)、上电极层(2)、PVDF压电薄膜层(3)、下电极层(4)和PDMS柔性基底层(5)五层叠在一起构成;所述PDMS表面凸起层(1)为上表面具有两行三列排布的PDMS四棱台(6)的图案化的PDMS薄膜;上电极层(2)为四行六列排布的上电极(7)阵列;下电极层(4)为两行三列排布的下电极(8)阵列;一个下电极(8)对应四个上电极(7),与夹心的PVDF压电薄膜层(3)共同形成四个压电电容(10),一个PDMS四棱台(6)正压于这四个压电电容(10)上,组成一个三维触觉传感单元(9);所述柔性三维触觉传感阵列包含六个三维触觉传感单元(9),空间分辨率为8mm;所述上电极(7)和下电极(8)均为铝。
2.根据权利要求1所述的一种压电式柔性三维触觉传感阵列,其特征在于:所述三维触觉传感单元(9)中四个压电电容(10)均布于PDMS四棱台(6)下底面的四角。
3.根据权利要求1所述的一种压电式柔性三维触觉传感阵列,其特征在于:所述的上电极层(2)和下电极层(4)的厚度均为200nm,相邻上电极(7)的最小中心间距为2.5mm。
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