[实用新型]一种改进结构的四氯化硅汽化装置

权利要求书

1.一种改进结构的四氯化硅汽化装置，包括气体混合筛网、汽化罐(6)和汽化热源罐，其特征在于，所述汽化热源罐上设有三个U型换热管，安装在汽化罐一侧边的汽化热源罐上的三个U型换热管延伸入汽化罐内，并封装成一体结构；汽化罐和汽化热源罐之间的整体安装方向与水平面之间呈15~30度夹角；汽化罐的顶端侧设有蒸汽出口管，汽化罐的底端侧设有混合物料进口管和排出管；在混合物料进口管上设置一层气体混合筛网，用于将物料四氯化硅和氢气充分混合；在汽化罐另一侧边上安装有液位计，液位计的顶端高于三个U型换热管中的最高点；汽化热源罐上的三个U型换热管分为U型换热管Ⅰ，U型换热管Ⅱ，U型换热管Ⅲ，其中U型换热管Ⅰ的长度和宽度均大于U型换热管Ⅱ、U型换热管Ⅲ的长度和宽度，且U型换热管Ⅰ环绕在U型换热管Ⅱ和U型换热管Ⅲ的外围；U型换热管Ⅱ的长度大于U型换热管Ⅲ的长度，且U型换热管Ⅱ与U型换热管Ⅲ之间相互扣合排列；

汽化热源罐内设有一层绝缘板将该汽化热源罐分为上层和下层，其中上层与导热源进口管相连通，且三个U型换热管的进口端与上层相连通；下层与导热源出口管相连通，且三个U型换热管的出口端与下层相连通。

2.根据权利要求1中所述的一种改进结构的四氯化硅汽化装置，其特征在于，所述蒸汽出口管设置于汽化罐的最顶端，排出管设置于汽化罐的最底端。

3.根据权利要求1中所述的一种改进结构的四氯化硅汽化装置，其特征在于，所述汽化罐内的四氯化硅液面高度低于液位计顶端高度，并且高于三个U型换热管中的最高点。