[实用新型]芯片测试机的监控装置有效
| 申请号： | 201520947951.X | 申请日： | 2015-11-24 |
| 公开（公告）号： | CN205506009U | 公开（公告）日： | 2016-08-24 |
| 发明（设计）人： | 潘子升;宋斌俊;魏建中 | 申请（专利权）人： | 杭州士兰微电子股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B21/00 | 分类号： | G01B21/00;G01R31/01 |
| 代理公司： | 北京成创同维知识产权代理有限公司 11449 | 代理人： | 刘锋;柳兴坤 |
| 地址： | 310012*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 芯片 测试 监控 装置 | ||
【权利要求书】：
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