[实用新型]一种高回转精度微柱状电极在线电化学制备装置

权利要求书

1.一种高回转精度微柱状电极在线电化学制备装置，其特征是：包括直流脉冲电源、电解加工机床、控制系统和霍尔电流传感器，其中，阴极板为带有小孔的金属板，设置于电解液槽中，控制系统控制电解加工机床做x、y和z向运动，使夹持在电解加工机床夹头的工件位于阴极板小孔中心，且浸入电解液中，电解加工机床的电主轴使工件保持旋转，以工件为阳极，阴极板为阴极，利用直流脉冲电源给工件和阴极板施加电压，霍尔电流传感器检测加工电流，并通过数据采集单元将电流信号传递给控制系统，控制系统根据电流信号的大小，动态小幅调整直流脉冲电源的电压幅值，使加工的电流随时间按理论规律变化。

2.如权利要求1所述的一种高回转精度微柱状电极在线电化学制备装置，其特征是：所述电解液槽放置于可升降平台上。

3.如权利要求1所述的一种高回转精度微柱状电极在线电化学制备装置，其特征是：所述阴极板为中心位置设有小孔的金属板。

4.如权利要求1所述的一种高回转精度微柱状电极在线电化学制备装置，其特征是：所述工件为圆柱状钨丝，加工过程中，所述工件置于阴极板的孔中心。

5.如权利要求1所述的一种高回转精度微柱状电极在线电化学制备装置，其特征是：所述阴极板水平安装在电解液容器内专用夹具上，电解液浸没阴极板上表面。

6.如权利要求3所述的一种高回转精度微柱状电极在线电化学制备装置，其特征是：所述小孔的直径为3-6mm。

7.如权利要求3所述的一种高回转精度微柱状电极在线电化学制备装置，其特征是：所述金属板为不锈钢板。