[实用新型]一种微电阻测量设备

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种电阻测量设备，具体涉及一种用于对微小电 阻进行测量的微电阻测量设备。

背景技术

在电子产品领域，为了保证出厂产品的良率，在产品生产完成后， 还需要对产品的电阻值进行测量。纯金属电阻值精密测量一般采用传 统的四联回路设备进行测量，但是在测量的过程中，传统的测量设备 对测量点的位置选取不精确，探针的压力难以控制，其可能会对测量 的电阻值产生影响。由于测量产品的电阻值十分微小，只有几毫欧或 零点几毫欧，为了提高其测量精确度，故一种微电阻测量设备亟待提 出。

实用新型内容

为了解决上述技术问题，本实用新型提出了一种微电阻测量设 备，该设可以快速有效对产品进行电阻值的测量，分辨出合格与不合 格的产品，减少工人的操作复杂度，提高其检测效率。

为了达到上述目的，本实用新型的技术方案如下：

一种电阻测量设备，电阻测量设备包括：滑动平台、控制装置以 及设置于滑动平台上可沿XYZ轴三个方向运动的微电阻测试计，微 电阻测试计上设有一组或多组探针。

本实用新型一种微电阻测量设备采用滑动平台上的微电阻测试 计对产品进行测量。控制装置控制微电阻测试计沿XY轴运动，可以 准确有效地选取产品上的测量点进行测量，同时降低了工作人员的操 作复杂度。而控制装置控制微电阻测试计沿Z轴运动，可以有效控制 微电阻测试计上的探针与产品测量点的压力，防止两者接触不良或探 针对产品压力过大造成损伤，保证探针对产品的测量更精确。

在上述技术方案的基础上，还可做如下改进：

作为优选的方案，在滑动平台上设置有：Y轴水平组件，包括Y 轴滑块、Y轴滑轨以及Y轴驱动装置，Y轴驱动装置驱动Y轴滑块 沿Y轴滑轨运动；X轴水平组件，设置于Y轴滑块上，包括X轴滑 块、X轴滑轨以及X轴驱动装置，X轴驱动装置驱动X轴滑块沿X 轴滑轨运动；Z轴垂直组件，设置于X轴滑块上，包括Z轴滑块、Z 轴滑轨以及Z轴驱动装置，微电阻测试计设置于Z轴滑块上，Z轴驱 动装置驱动Z轴滑块沿Z轴滑轨运动。

采用上述优选的方案，结构简单，成本低。

作为优选的方案，电阻测量设备还包括：设置于滑动平台上的用 于承载或运输产品的载具。

采用上述优选的方案，便于对产品进行承载或运输。

作为优选的方案，电阻测量设备还包括温度传感器，温度传感器 与控制装置电连接。

采用上述优选的方案，温度传感器对微电阻测试计对产品进行测 量时的环境温度进行测量，对微电阻测试计测量的产品的电阻值进行 温度补偿，消除环境温度对产品电阻的影响，使其检测更精确。

作为优选的方案，电阻测量设备还包括调零母板。

采用上述优选的方案，调零母板的表面镀有贵金属，如：金、银。 传统的四联回路设备，需要工作人员将每组探针进行接触短接来实 现，操作复杂，一个工作人员难以实现。而本申请采用阻值无限小的 调零母板对微电阻测试计进行调零，操作更便捷。

作为优选的方案，调零母板水平设置于Z轴滑轨内部空腔中， 且调零母板与母板驱动装置连接，母板驱动装置驱动调零母板运动。

采用上述优选的方案，降低工作人员的操作复杂度。

作为优选的方案，调零母板包括正面和背面，正面为金属检测面， 背面上设有卡槽，卡槽内铰接有用于支撑调零模板的支撑脚。

采用上述优选的方案，支撑脚对调零模板进行良好的支撑，保证 其调零更有效。

附图说明

图1为本实用新型实施例提供的微电阻测量设备的结构示意图。

图2为本实用新型实施例提供的Z轴垂直组件、微电阻测试计以 及调零母板的主视图。

图3为本实用新型实施例提供的产品结构示意图。

图4为本实用新型实施例提供的产品俯视图。

图5为本实用新型实施例提供的微电阻测量设备的侧视图之一。

图6为本实用新型实施例提供的微电阻测量设备的侧视图之二。

图7为本实用新型实施例提供的微电阻测量设备的侧视图之三。

图8为本实用新型实施例提供的调零母板背面的结构示意图。