[实用新型]石英坩埚内表面喷涂设备有效

专利信息
申请号: 201520951265.X 申请日: 2015-11-25
公开(公告)号: CN205115288U 公开(公告)日: 2016-03-30
发明(设计)人: 王震;侯建 申请(专利权)人: 锦州佑鑫石英科技有限公司
主分类号: C03C17/00 分类号: C03C17/00
代理公司: 锦州辽西专利事务所 21225 代理人: 赵月娜
地址: 121017 辽宁省锦州*** 国省代码: 辽宁;21
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摘要:
搜索关键词: 石英 坩埚 表面 喷涂 设备
【权利要求书】:

1.一种石英坩埚内表面喷涂设备,包括机架,其特征在于:所述机架底部固定有旋转支撑架,所述旋转支撑架上方利用回转支撑安装有环形转盘,所述旋转支撑架侧面设有驱动电机,所述驱动电机的输出轴与回转支撑之间设有齿轮传动机构,所述机架一侧固定有气缸,所述气缸的缸杆顶端固定有支架,所述支架经过旋转支撑架由环形转盘的环腔中穿出,所述支架上设有药管且药管末端安装有喷嘴,所述喷嘴位于支架顶端,所述机架外侧固定有面向机架内侧的红外测温仪和控制箱,所述控制箱的面板上设有数显表,所述控制箱的顶部设有报警器。

2.根据权利要求1所述的石英坩埚内表面喷涂设备,其特征在于:所述机架一侧设有喷涂机门。

3.根据权利要求1所述的石英坩埚内表面喷涂设备,其特征在于:所述支架由水平支杆和垂直支杆组成。

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