[实用新型]一种四氯化硅传导炉的箱式加热器

权利要求书

1.一种四氯化硅传导炉的箱式加热器，包括两片气体混合筛网、加热箱炉、三根U型换热管和加热源罐，其特征在于，所述加热源罐与三根U型换热管相连通，该三根U型换热管延伸入加热箱炉内，并封装成一体结构，且在加热箱炉与三根U型换热管之间环设一层隔热套；加热箱炉和加热源罐之间的整体安装方向与水平面之间呈20~40度倾斜角；加热箱炉的顶端侧设有蒸汽出口管，加热箱炉的底端侧设有混合物料进口管和排出管；在混合物料进口管内并排有两片气体混合筛网，用于将物料四氯化硅和氢气充分混合；在加热箱炉另一侧边上安装有液位计，液位计的顶端高于三根U型换热管中的最高点；三根U型换热管分为U型换热管Ⅰ，U型换热管Ⅱ，U型换热管Ⅲ，其中U型换热管Ⅰ的长度和宽度均大于U型换热管Ⅱ、U型换热管Ⅲ的长度和宽度，且U型换热管Ⅰ环绕在U型换热管Ⅱ和U型换热管Ⅲ的外围；U型换热管Ⅱ的长度大于U型换热管Ⅲ的长度，且U型换热管Ⅱ与U型换热管Ⅲ之间相互扣合排列；加热源罐内壁上一层隔热膜，且在加热源罐内通过一绝缘隔板将该加热源罐分为上层和下层，其中上层与加热源进口管相连通，且三根U型换热管的进口端与上层相连通；下层与加热源出口管相连通，且三根U型换热管的出口端与下层相连通。

2.根据权利要求1中所述的一种四氯化硅传导炉的箱式加热器，其特征在于，所述蒸汽出口管设置于加热箱炉的最顶端，排出管设置于加热箱炉的最底端。

3.根据权利要求2中所述的一种四氯化硅传导炉的箱式加热器，其特征在于，所述加热箱炉内的四氯化硅液面高度低于液位计顶端高度，并且高于三根U型换热管中的最高点。