[实用新型]石英坩埚用石墨模具有效
申请号: | 201520954877.4 | 申请日: | 2015-11-25 |
公开(公告)号: | CN205115270U | 公开(公告)日: | 2016-03-30 |
发明(设计)人: | 王震;侯建 | 申请(专利权)人: | 锦州佑鑫石英科技有限公司 |
主分类号: | C03B20/00 | 分类号: | C03B20/00 |
代理公司: | 锦州辽西专利事务所 21225 | 代理人: | 赵月娜 |
地址: | 121017 辽宁省锦州*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 石英 坩埚 石墨 模具 | ||
1.一种石英坩埚用石墨模具,模具本体上沿设有与水套压梁相配合的模具压梁,其特征在于:所述模具本体的侧壁、底部及两者的圆弧过渡部位均匀设有多个抽真空孔,每个所述抽真空孔由与模具本体内表面相接的大孔径段Ⅰ、与模具本体外表面相接的大孔径段Ⅱ、连接于大孔径段Ⅰ和大孔径段Ⅱ之间的小孔径段组成,所述大孔径段Ⅰ、大孔径段Ⅱ和小孔径段的中心线重合且与模具本体内轮廓对应位置处的法线垂直,所述大孔径段Ⅱ的孔径大于大孔径段Ⅰ的孔径,所述大孔径段Ⅰ内置有白钢过滤网,所述模具本体的底面中心设有定位中心眼。
2.根据权利要求1所述的石英坩埚用石墨模具,其特征在于:所述大孔径段Ⅰ的孔径为6mm-8mm。
3.根据权利要求1所述的石英坩埚用石墨模具,其特征在于:所述小孔径段的孔径为3mm-4mm。
4.根据权利要求1所述的石英坩埚用石墨模具,其特征在于:所述大孔径段Ⅱ的孔径为12mm-14mm。
5.根据权利要求1所述的石英坩埚用石墨模具,其特征在于:所述大孔径段Ⅱ和小孔径段的长度均长于大孔径段Ⅰ的长度。
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