[实用新型]一种自动精密涂布设备有效
| 申请号： | 201520954925.X | 申请日： | 2015-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN205253475U | 公开（公告）日： | 2016-05-25 |
| 发明（设计）人： | 童和强 | 申请（专利权）人： | 杭州众能光电科技有限公司 |
| 主分类号： | B05C5/02 | 分类号： | B05C5/02;B05C11/10 |
| 代理公司： | 杭州丰禾专利事务所有限公司 33214 | 代理人： | 王晓峰 |
| 地址： | 310018 浙江省杭州市经济技*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 自动 精密 布设 | ||
【权利要求书】：
1.一种自动精密涂布设备，其特征在于：包括固定工作台（1）、涂布头（3）、支撑架（7）和 伺服驱动装置，所述固定工作台（1）上表面还设有样品台（2），所述支撑架固定在固定工作 台（1）的两侧，所述支撑架（7）的上端设有导轨（6），多轴可移动式的涂布头（3）安装在导轨 （6）上，所述导轨（6）上还设有用来检测涂布头（3）位移量的纳米光栅检测仪（8），所述伺服 驱动装置通过丝杆（5）与涂布头（3）连接。
2.根据权利要求1所述一种自动精密涂布设备，其特征在于：所述涂布头（3）包括流量 阀、密封装置（4）和流量传感器，所述流量阀安装在溶液存储装置上，所述密封装置（4）安装 在涂布头（3）与溶液存储装置之间，所述流量传感器安装在涂布头（3）的出液端。
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