[实用新型]一种分子泵机组一键启停系统

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种分子泵机组一键启停系统。

背景技术

现有的分子泵通常采用多按钮操作，在启动机组时，需先按前级 泵启动按钮，启动前级泵，等到分子泵机组真空度达到一定的真空度 时，再操作分子泵启动按钮，启动分子泵；在停止机组时，需先操作 分子泵停止按钮，分子泵开始停止，等到分子泵安全停机后，再操作 前级泵停止按钮，停止前级泵。此操作需人为的控制，比较繁琐，其 中分子泵启动条件需人为判定，存在对泵不安全操作的因素，若是操 作不当会引起分子泵的损坏，影响机组的寿命。

实用新型内容

为了解决上述问题，本实用新型提供了一种分子泵机组一键启停 系统，包括：分子泵机组、真空计、断电延时继电器、控制器、一键 启停开关和电源，分子泵机组包括前级泵和分子泵，前级泵通过波纹 管连接至分子泵，分子泵通过过渡管道连接至真空系统，电源分别与 分子泵、前级泵和控制器连接，分子泵与电源之间安装有分子泵通电 开关及前级泵与所述电源之间安装有前级泵通电开关，控制器分别与 分子泵通电开关、前级泵通电开关、真空计、断电延时继电器和一键 启停开关连接，真空计安装在过渡管道上，断电延时继电器与分子泵 连接。

根据上述一种分子泵机组一键启停系统，其中，前级泵通电开关 为断电延时断开开关。

根据上述一种分子泵机组一键启停系统，还包括远程监视及控制 设备，远程监视及控制设备与控制器连接。

根据上述一种分子泵机组一键启停系统，还包括报警器，报警器 分别与控制器和电源连接。

有益效果

本实用新型公开的一种分子泵机组一键启停系统实现了对分子 泵机组的一键启停及其自动化。

附图说明

图1是本实用新型公开的一种分子泵机组一键启停系统的结构 示意图；

图2是本实用新型公开的分子泵机组的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步详细描述，但 不作为对本实用新型的限定。

图1是本实用新型公开的一种分子泵机组一键启停系统的结构 示意图，图2是本实用新型公开的分子泵机组的结构示意图，如图1 和图2所示，本实用新型提供了一种分子泵机组一键启停系统，包括： 分子泵机组01、真空计02、断电延时继电器03、控制器04、一键启 停开关05和电源06，分子泵机组01包括前级泵07和分子泵08，前 级泵07通过波纹管09连接至分子泵08，分子泵08通过过渡管道10 连接至真空系统11，真空计02安装在过渡管道10上以检测分子泵 机组01启动后的真空度，电源06分别与分子泵08、前级泵07和控 制器04连接以为他们供电，分子泵08与电源06之间安装有分子泵 通电开关12及前级泵07与电源06之间安装有前级泵通电开关13， 其中，前级泵通电开关13为断电延时断开开关，控制器04分别与分 子泵通电开关12、前级泵通电开关13、真空计02、断电延时继电器 03和一键启停开关05连接，断电延时继电器03与分子泵08连接。

根据上述一种分子泵机组一键启停系统，还包括远程监视及控制 设备14，远程监视及控制设备14与控制器04连接，这样就可以实 现对分子泵机组的远程监视及控制。

根据上述一种分子泵机组一键启停系统，还包括报警器15，报 警器15与电源06连接，由电源06为报警器供电，报警器15与控制 器04，这样当分子泵机组一键启停系统启动或停止分子泵机组01时， 或分子泵机组工作过程中出现异常时，控制器04根据异常信号启动 报警器报警。

根据上述一种分子泵机组一键启停系统的一键开启程序如下：按 下一键启停开关05，控制器04控制前级泵通电开关13启动前级泵 07，真空计02测量显示真空度值，可以通过控制器04设定真空度预 定值，当真空计02测量值达到此真空度预定值时，控制器04控制分 子泵通电开关12启动分子泵08，这样就完成了分子泵机组的一键开 启。