[实用新型]一种快速补偿运动机构到位误差的精密定位装置

权利要求书

1.一种快速补偿运动机构到位误差的精密定位装置，其特征在于：包括用于进行补偿定位精度的补偿元件、用于放置运动机构的基座、用于检测定位精度的位置检测装置和用于控制整个定位补偿控制运作的控制系统；

所述补偿元件安装于所述运动机构。

2.根据权利要求1所述的一种快速补偿运动机构到位误差的精密定位装置，其特征在于：所述补偿元件为可输出快速往复精密运动的精密致动元件。

3.根据权利要求2所述的一种快速补偿运动机构到位误差的精密定位装置，其特征在于：所述精密致动元件为压电材料或磁致伸缩材料。

4.根据权利要求3所述的一种快速补偿运动机构到位误差的精密定位装置，其特征在于：所述补偿元件通过螺钉安装于所述运动机构。

5.根据权利要求1所述的一种快速补偿运动机构到位误差的精密定位装置，其特征在于：所述运动机构的重复定位误差在所述补偿元件所能补偿的作用区间内。

6.根据权利要求5所述的一种快速补偿运动机构到位误差的精密定位装置，其特征在于：所述区间满足以下条件：补偿元件的有效动作距离范围△与所述运动机构的重复定位误差ε间的关系满足ε≤△；所述△由所述补偿元件的型号选型确定，所述ε由所述需要进行定位误差补偿的运动机构性能确定。

7.根据权利要求1所述的一种快速补偿运动机构到位误差的精密定位装置，其特征在于：补偿元件的启动条件满足以下条件：所述运动机构定位阶段的到位振动一个振动周期内的波峰波谷振动幅值A与开始动作条件的设定触发值α的关系满足A﹤α。

8.根据权利要求1所述的一种快速补偿运动机构到位误差的精密定位装置，其特征在于：补偿元件进行定位误差补偿的输出位移满足以下条件：补偿元件进行相应的位移输出△_i与所述运动机构当前的定位误差d_i,满足关系△_i＝d_i，其中i＝1,2,3...。

9.根据权利要求1所述的一种快速补偿运动机构到位误差的精密定位装置，其特征在于：所述位置检测元件由两个相互配合的位置检测子元件组成，所述位置检测子元件组成分别安装于所述基座和所述补偿元件上。