[实用新型]多晶硅片生产车间用上料设备

说明书

技术领域

本实用新型涉及晶棒切片辅助设备技术领域，具体讲是一种多晶硅片生产车 间用上料设备。

背景技术

目前，在晶棒制成硅晶片之前需要对晶棒进行预处理，即将切割好的晶棒粘 结在粘棒工装上，然后通过多晶硅片生产车间用上料设备将载有晶棒的粘棒工装 装于切片机的夹头上。在上料时，其上两插架插入粘棒工装上对应的插孔中将晶 棒工装高度提升，以使晶棒工装上的安装孔与切片机上的夹头配合完成上料工 序。现有技术中，多晶硅片生产车间用上料设备上两插架之间的间距大都为固定 间距，这样就存在一定局限性，对于尺寸较小的粘棒工装，粘棒工装上的两插孔 间距又较小的时候，大规格的多晶硅片生产车间用上料设备则无法适用，需要使 用规格较小的多晶硅片生产车间用上料设备，这样一来，硅晶片生产车间就必须 准备两种规格的多晶硅片生产车间用上料设备，导致设备成本较大。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是，克服现有技术中存在的缺陷，提供一种 两插架之间间距可调的多晶硅片生产车间用上料设备，该多晶硅片生产车间用上 料设备适于装载两种不同规格的粘棒工装，从而有利于降低设备成本。

为解决上述技术问题，本实用新型提出一种多晶硅片生产车间用上料设备， 包括机架和可上下移动设置在机架上的移动架，机架底部设有滚轮，移动架上设 有与其固定连接的固定插架和与其移动连接的活动插架，所述活动插架与固定插 架同一高度设置，所述活动插架可移动的方向为左右方向。

作为改进，所述活动插架与所述移动架通过螺栓连接，所述移动架上穿设所 述螺栓的孔为沿左右方向设置的适于所述螺栓移动的条形孔，这样，螺栓可以在 条形孔中左右移动，从而使得活动插架可以左右移动，起到可调节插架之间间距 的作用。

作为改进，条形孔的两端设有长度方向与固定插架设置方向一致的限位凸 条，这样，活动插架移动到位时与限位凸条相抵，以使所述活动插架移动到位时 与所述固定插架保持平行，定位更加准确，提高了工作效率。

作为改进，机架下端设有导向装置，所述的导向装置包括左右两边对称设置 的导向轮，两边的导向轮之间形成定位槽，这样，在将粘有晶棒的粘棒工装安装 于切片机时，通过导向轮的导向使所述定位槽与切片机上对应设置的定位件快速 定位配合，进而使粘棒工装上的安装孔快速有效的和切片机上的安装夹头形成配 合，便于晶棒的安装，可有效提高工作效率。

采用上述结构后，与现有技术相比，本实用新型具有以下优点：

1、通过设置可左右移动的活动插架，在应对粘有晶棒的粘棒工装不同插孔 孔距时，可调节两插架之间的间距，调节简单更加方便，有利于提升工作效率。

2、通过在机架下端设置导向轮，导向轮形成导向槽，在将粘有晶棒的粘棒 工装安装于切片机时，通过导向轮的导向使所述定位槽与切片机上对应设置的定 位件之间的快速定位配合，进而使粘棒工装上的安装孔快速有效的和切片机上的 安装夹头形成配合，这样可有效提高工作效率。

附图说明

图1为本实用新型多晶硅片生产车间用上料设备的结构示意图。

图2为本实用新型多晶硅片生产车间用上料设备的左视图。

图中所示，1、机架，2、移动架，3、固定插架，4、活动插架，5、条形孔， 6、螺栓，7、定位槽8、导向轮，9、限位凸条，10、拉绳位移传感器，11、操 作平台，12、显示屏装置，13、信号线。

具体实施方式

下面对本实用新型作进一步详细的说明：

本实用新型多晶硅片生产车间用上料设备，如图1所示，其包括机架1和可 上下移动设置在机架1上的移动架2，机架1底部设有滚轮，移动架2上设有与 其固定连接的固定插架3和与其移动连接的活动插架4，所述活动插架4与固定 插架3同一高度设置，所述活动插架4可移动的方向为左右方向。