[实用新型]LED外延材料表面抛光固定装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种LED外延材料表面抛光固定装置。

背景技术

LED外延材料表面在完成LED外延生长后常常存在一定的波汶、残渣，这种缺陷往 往是不平整的，表面为凸点或凹坑。在LED芯片制作时，由于需要用光刻模版进行接触式曝 光，凸点往往使外延片在进行接触式曝光时出现破碎，而凹坑也是影响产品外观的一个重 要因素；为了减少LED外延片这种凸点或凹坑在使用时出现操作或外观问题，一般需要在 LED外延材料表面完成生长后进行表面抛光操作，利用化学及机械的作用消除材料表面的 凸点或凹坑，使材料表面达到平整、光洁的效果。

现有技术的抛光操作是将LED外延材料用粘片石膜粘接在平整的不锈钢盘上，再 放在抛光布上进行有具有公转和自转的圆周运动，利用抛光布和抛光剂的化学和物理切削 作用，消除材料表面的凸点或凹坑，最终使材料表面达到平整、光洁的效果。这种外抛光固 定装置常出现以下几个问题：1、晶片固定装置不规范，容易出现随便搬放的问题，从而使不 同位置晶片抛光效果存在差异；2、在晶片圆周运动时，抛光布的切削作用总是从边缘向中 间过渡，一段时间后会将外延边缘变成斜角，导致材料边缘和中间在完成抛光后出现厚度 不均匀。

发明内容

本实用新型的目的就是提供了一种能防止外延材料边缘产生斜边，保证材料边缘 与中心区域的厚度一致，提高产品的合格率的LED外延材料表面抛光固定装置。

本实用新型的LED外延材料表面抛光固定装置，其特征在于，不锈钢抛光盘表面开 有规则排布的定位凹坑，定位凹坑的形状与LED外延材料相同，定位凹坑的深度在0.2mm- 0.3mm之间。

本实用新型的LED外延材料表面抛光固定装置具有结构简单、成本低、适用性强的 特点，在对LED外延材料表面进行抛光操作时，凹坑的边缘对外延片的边缘起到保护作用， 防止在外延材料边缘产生斜边，从而保证材料边缘与中心区域的厚度一致，从而提高了产 品的合格率。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图中，1、不锈钢抛光盘，2、定位凹坑。

具体实施方式

一种LED外延材料表面抛光固定装置，其特征在于，不锈钢抛光盘1表面开有规则 排布的定位凹坑2，定位凹坑2的形状与LED外延材料相同，定位凹坑2的深度在0.2mm-0.3mm 之间。

首先，将本装置加热至80-100度，用粘片石腊涂抹装置表面,使石腊熔化成液状， 再将晶片放置在定位凹坑处,需抛光的一面朝上.轻轻移动晶片使晶片与抛光盘表面接触 均匀、完整、无汽泡，然后慢慢冷却至室温,使晶片牢固粘在不锈钢抛光盘上,粘片后晶片抛 光面稍凸出于不锈钢抛光盘表面约0.1mm为准，用小刀或小铲去除多余石腊,放入抛光机 内,进行抛光操作即可。